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ナノメタルインクを用いる導体パターンの形成方法

シーズコード S130012429
掲載日 2013年6月11日
研究者
  • 伊東 栄次
技術名称 ナノメタルインクを用いる導体パターンの形成方法
技術概要 ナノメタルインクを用いる導体パターンの形成方法は、(a)導体パターンに合わせて凸部16aと凹部16bのパターンが形成された、スタンパー16のスタンプ面にナノカーボン分散液としてカーボンナノチューブ分散液20を供給する工程[図2(a)]と、(b)カーボンナノチューブ分散液が供給されたスタンプ面に、ナノメタルインク22を供給する工程[図2(b)]と、(c)スタンパーのスタンプ面と被転写体である転写基板24の被転写面とを対向させてスタンパー16と転写基板24とを重ね合わせ、厚さ方向に挟圧して、スタンパー16から転写基板24に前記ナノメタルインク22を転写する工程[図2(c)]と、を備える。図2(d)は、転写基板24にカーボンナノチューブ分散液20とナノメタルインク22が転写された状態を示す。スタンパー16の凸部16aの平坦な頂部面に付着したカーボンナノチューブ分散液20とナノメタルインク22が転写基板24の表面に押接され、スタンパー16から転写基板24へ転写される。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス製造技術一般
展開可能なシーズ 導電性インクを使用してマイクロコンタクトプリンティング法によって導体パターンを形成する際に、確実に導電性インクを転写することができ、かつ所用の導電性を備える導体パターンを形成することができるナノメタルインクを用いる導体パターンの形成方法を提供する。
この導体パターンの形成方法によれば、ナノカーボン分散液が供給されたスタンプ面にナノメタルインクを供給する工程を採用することにより、スタンパーから転写基板に確実にナノメタルインクを転写することができ、かつ所要の導電率を備える導体パターンを形成できる。
用途利用分野 ナノメタルインクを用いた導体パターンを形成装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人信州大学, . 伊東 栄次, . ナノメタルインクを用いる導体パターンの形成方法. 特開2012-004547. 2012-01-05
  • H05K   3/20     
  • H01L  21/027    
  • B29C  59/02     
  • C23C  24/08     

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