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酸化物単結晶の製造方法および装置

シーズコード S022000291
掲載日 2003年5月26日
研究者
  • 北村 健二
研究者所属機関
  • 独立行政法人 物質・材料研究機構
研究機関
  • 独立行政法人 物質・材料研究機構
技術名称 酸化物単結晶の製造方法および装置
技術概要 この技術は、貴金属るつぼを用いた回転引き上げ式の単結晶製造方法において、貴金属からなる外側るつぼ内に、るつぼ内の融液表面をさえぎり、融液底部で融液が連絡するようにした円筒状の内側るつぼを配置した二重るつぼを用い、育成中の結晶の重量を直接計測しながら単結晶を前記内るつぼの中から引き上げ育成し、これと同時に密封容器内にガスを供給し、前記密封容器内に保管した粉体原料を結晶の成長重量と同じ重量だけ前記外るつぼと内るつぼとの間に供給管を通して供給し、前記二重るつぼを回転させながら結晶を育成することを特徴とする。
画像

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従来技術、競合技術の概要 貴金属二重るつぼを用いた回転引き上げ法による単結晶製造方法などがあるが、育成途中での温度勾配が変化し長尺の単結晶が安定的にかつ高い歩留まりにて製造できない。
研究分野
  • 無機化合物の結晶成長
展開可能なシーズ (1)任意組成で均一な単結晶育成
(2)長尺、高品質単結晶の低コスト・安定的育成
(3)不定比等の欠陥を制御した高特性単結晶育成
用途利用分野 波長変換用、光変調用ニオブ酸リチウム・タンタル酸リチウム単結晶
表面弾性波選択素子用単結晶
酸化物単結晶製造
関連発表論文 (1)柿本浩一, 北村健二. ACRT法における融液撹はん効果の解析. 日本結晶成長学会誌. vol.29,no.2,2002,p.20.
(2)北村健二, 中村優, 竹川俊二, 宮沢智明, 小西寛行, 森永健次. Li2O‐Nb2O5系融液特性の組成依存性と二重るつぼ中の対流実験シミュレーション. 日本結晶成長学会誌. vol.29,no.2,2002,p.19.
(3)中村優, 竹川俊二, 北村健二, 古川保典. 定比LiTaO3結晶におけるキュリー温度と結晶組成. 日本結晶成長学会誌. vol.29,no.2,2002,p.3.
(4)古川保典, 北村健二, 竹川俊二. 最近の半導体と製造装置光情報通信技術を支える強誘電体単結晶の開発. Fine Ceram Rep. vol.18,no.11,2000,p.254‐258.
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人物質・材料研究機構, . 北村 健二, 古川 保典, 竹川 俊二, 木村 茂行, . 酸化物単結晶の製造方法及び装置. 特開2000-344595. 2000-12-12
  • C30B  15/12     
  • C30B  29/30     

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