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光プローブ先端に波長以下の微小領域に分布する光を発生させるプローブ先端構造の発明

シーズコード S040000430
掲載日 2006年9月1日
研究者
  • 田中 嘉津夫
研究者所属機関
  • 岐阜大学 工学部
研究機関
  • 岐阜大学 工学部
技術名称 光プローブ先端に波長以下の微小領域に分布する光を発生させるプローブ先端構造の発明
技術概要 金属表面に開けた微小開口の表面に励起される表面プラズモンを利用することにより、大きな強度を持ち、極めて小さな光分布(スポットサイズ)を持つ光を作成することができる。この性質を持つ光を作成する方法として極めて簡単な方法を開発した。さらに、多くの分野に応用できることを発見した。
従来技術、競合技術の概要 表面プラズモンを利用した応用技術は少なく、競合技術の存在も不明。
研究分野
  • 固体プラズマ
  • 電子・磁気・光学記録
  • 固体デバイス製造技術一般
展開可能なシーズ (1)表面プラズモンを応用した極めて基本的な発明である近接場光発生プローブ
(2)高強度で小スポットの近接場光
(3)簡単な技術、構造で実現可能なプローブ光
用途利用分野 近接場顕微鏡
近接場光ディスクシステム
半導体リソグラフィー
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人岐阜大学, . 田中 嘉津夫, 田中 雅宏, . 光導波装置. 特開2004-109965. 2004-04-08
  • G02B   6/00     
  • G01N  13/10     
  • G01N  13/14     
  • G11B   7/135    
  • H01L  21/027    

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