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安価な装置で平滑なDLC膜を作る方法 新技術説明会

シーズコード S080000040
掲載日 2008年7月4日
研究者
  • 田中 勝己
研究者所属機関
  • 国立大学法人電気通信大学 電気通信学部 電子工学科
研究機関
  • 国立大学法人電気通信大学
技術名称 安価な装置で平滑なDLC膜を作る方法 新技術説明会
技術概要 安価な(10万円以下の設備費)自作加熱装置とプロパンガスを原料にして、1000℃以下の温度でサファイア上に均一なDLC膜を作成することができる。
画像

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従来技術、競合技術の概要 真空装置とプラズマを用いる従来法に対し、我々は安価な装置と触媒を用いてメタン熱分解によりDLC作成法を特許公開した(特開2005-226162)。この方法を改良して反応に必要な温度を350℃以上下げることに成功した。
展開可能なシーズ ・安価な設備投資で、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜を材料表面上に形成できる。
・様々な基板上に、均一にDLC膜を堆積できる。
・条件を選ぶことで、膜厚、膜質を制御できる。
用途利用分野 DLC膜加工による材料表面の耐磨耗強度向上
材料表面の”ぬれ”性の向上
金属上へのDLC膜形成
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人電気通信大学, . 中村 恭子, チュウ チャオキョン, 田中 勝己, . ダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法. 特開2008-260670. 2008-10-30
  • C23C  16/27     
  • C01B  31/02     

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