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入射光の測定方法及びそれを用いた分光機構を有するセンサー

シーズコード S090000283
掲載日 2009年9月14日
研究者
  • 澤田 和明
  • 石田 誠
  • 丸山 結城
  • 武藤 秀樹
技術名称 入射光の測定方法及びそれを用いた分光機構を有するセンサー
技術概要 入射光の測定方法において、入射光を透過させると共に、ゲート電圧が印加される電極膜7と、その下部に絶縁膜4を介して入射光によい発生した電子を捕獲する第1の拡散層2と、第1の拡散層2の一端側に形成され、第1の拡散層2内に捕獲した電子を外部に取り出す第2の拡散層3と、第2の拡散層3に接続され、かつ捕獲した電子を外部に取り出す第1の電極5とを設ける。さらに、第1の拡散層2に形成される第2の拡散層3とは対向する他端側に接続され、かつ第1の拡散層2の電位を確立する第2の電極6を設ける。そして第1の拡散層2に入射光が入ると、この入射光の強度が指数関数的に減衰することに基づいて、第1の拡散層2の表面からの深さxにおける入射光の強度Φを求め、これにより第1の拡散層2の表面からの電子の捕獲される深さWまでに吸収される入射光の光強度Φの割合を求め、これらより、第1の拡散層2の表面からの電子の捕獲される深さWまでに発生する電流Iを測定することにより、入射光の強度を測定する。
画像

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S090000283_01SUM.gif
研究分野
  • 測光と光検出器一般
  • 分光法と分光計一般
展開可能なシーズ 入射光に対応した単一の電子の捕獲部を備えた、簡単な半導体構造を用いた入射光の測定方法及びそれを用いた分光機構を有するセンサを提供する。
入射光に対応した単一の電子の捕獲部を備えた、簡単な半導体構造を用いた入射光の測定方法及びそれを用いた分光機構を有するセンサを提供でき、また分光センサの応用として、カラーフィルタなしカラーイメージセンサを提供できる。
用途利用分野 分光センサ、カラーイメージセンサ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 澤田 和明, 石田 誠, 丸山 結城, 武藤 秀樹, . 入射光の測定方法及びそれを用いた分光機構を有するセンサー. 特開2005-010114. 2005-01-13
  • G01J   3/30     
  • H01L  31/10     

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