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シリコンで構成される偏光フィルター及びその製造方法

シーズコード S090000472
掲載日 2009年9月14日
研究者
  • 藤井 稔
  • ヨーヒム ディーナー
  • ニコライ クンツナー
  • エーゴン グロス
  • ドミトリー コバレフ
技術名称 シリコンで構成される偏光フィルター及びその製造方法
技術概要 偏光フィルターを形成するためには面内に光学異方性を持つ材料が必要であるので、シリコン結晶に構造異方性を持たせるために、シリコン結晶を加工し、ポーラスシリコンを形成する。このため、通常使用される面方位が100もしくは111のシリコン結晶ではなく、面方位が110のシリコン結晶からポーラスシリコンを作成する。この偏光フィルターは、光に対して面内に光学異方性をもつポーラスシリコンであって、特性(平均誘電率、誘電率の異方性、膜厚)の異なる3種類以上のポーラスシリコン層で形成される多層膜からなる。偏光フィルターの構造は、2種類のダイクロイックミラーを積層したものである。それぞれのダイクロイックミラーを形成するのに少なくとも2種類の層が必要なため、偏光フィルター用には、少なくとも4種類の層が必要になる。但し、それぞれのダイクロイックミラーを形成する2種類の層のうちの一方の層が、それぞれのダイクロイックミラーで共通である場合は、層の種類は3種類となる。例えば、A層、B層、C層を用いて、一種のダイクロイックミラーをA層とB層により形成し、もう一種のダイクロイックミラーをA層とC層により形成する。
画像

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研究分野
  • 光デバイス一般
展開可能なシーズ 偏光プリズムと偏光フィルターの長所を併せ持ち、小型で、強光度のレーザーにも使用できる新規の偏光フィルターを提供する。
ポーラスシリコンの各層を作製するエッチング電流値とエッチング時間を制御することにより、多層膜の各ポーラスシリコン層を任意に組み合わせて、偏光フィルターを形成できる。透過又は反射させたい波長域を決め、様々な光学特性を有する層を自由に組み合わせて、その層の組み合わせに従い、エッチング電流値とエッチング時間のシーケンスプログラム設計を作り、目的とする偏光フィルターを得ることができる。
用途利用分野 光学部品、光通信、小型光学系、近赤外領域
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 藤井 稔, ヨーヒム ディーナー, ニコライ クンツナー, エーゴン グロス, ドミトリー コバレフ, . シリコンで構成される偏光フィルター及びその製造方法. 特開2005-173206. 2005-06-30
  • G02B   5/30     
  • G02B   5/28     

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