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深穴計測装置および深穴計測方法

シーズコード S090000714
掲載日 2009年9月14日
研究者
  • 甲木 昭雄
  • 鬼鞍 宏猷
  • 佐島 隆生
技術名称 深穴計測装置および深穴計測方法
技術概要 深穴計測装置10は、深穴計測プローブ5、テーブル(送り台)6、各種光学検出系、測長器16等を備える。深穴計測プローブ5は、計測ユニット8と圧電アクチュエータ(姿勢修正手段)15を備え、圧電アクチュエータ保持部は回転することなく、深穴計測中において深穴計測プローブ5の姿勢(変位および傾き)を検出し、正常位置からのずれを修正する。深穴計測プローブ5の先端部分に取り付けられた計測ユニット8は、計測バー1の中心軸7に沿った誘導軸線を中心として回転する。深穴3を加工された被加工物4に対して、計測ユニット8を回転させながら、被加工物4を固定したテーブル6を、深穴計測プローブ5に向かって前進させることで深穴3の計測を行う。計測ユニット8は、スタイラス(針状部材)31を備え、深穴3の穴壁(表面)に物理的接触することで深穴3の表面形状を物理的に読み出す。測長器16は、深穴3の外部からスタイラス31へレーザ光を照射することでスタイラス31の動きを検出することにより、深穴3の加工精度を計測する。
画像

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研究分野
  • 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
展開可能なシーズ より深い深穴について、その加工精度を高倍率で計測することが可能な深穴計測装置および深穴計測方法を提供する。
深穴の形状を物理的な接触により読み出して一次情報とし、この一次情報をレーザ光により遠隔位置のレーザ照射検出手段から検出することで、二次情報として読み出す。そのため、計測時の倍率を上げても穴の傾きや偏芯等の拡大を有効に回避することができ、高倍率で深穴を計測・評価することが可能となる。
用途利用分野 深穴計測装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 甲木 昭雄, 鬼鞍 宏▲猷▼, 佐島 隆生, . 深穴計測装置および深穴計測方法. 特開2005-315814. 2005-11-10
  • G01B   5/20     
  • G01B  21/20     

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