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磁気力顕微鏡用の磁性探針及びその製造方法

シーズコード S090000782
掲載日 2009年9月14日
研究者
  • 石尾 俊二
  • 斉藤 準
  • 林 映雨
技術名称 磁気力顕微鏡用の磁性探針及びその製造方法
技術概要 非磁性材料からなる針状部206の表面上に形成された第1のハード磁性体合金層210、この第1のハード磁性体合金層210上に形成されたソフト磁性合金層212及びこのソフト磁性合金層212上に形成された第2のハード磁性体合金層214から成り、針状部206先端に層状断面部204が配置されている単相磁石としての特性を示す交換スプリング磁石とから構成される磁気力顕微鏡用の磁性探針202である。探針先端を積層薄膜構造とし、この積層薄膜によって磁化制御可能な交換スプリング機構とし、積層薄膜の断面構造を探針とする。交換スプリング磁石機構を利用することで、高保磁力並びに高飽和磁化の両立が探針中心部で可能となり、結果として大幅な分解能の向上が可能となる。探針中心部の磁気力検出感度を向上できれば必ずしも探針の先鋭化は必要ではない。この実現には、交換スプリング機構を用いた積層膜の断面を利用することが好適である。ここで、交換スプリング磁石とは、飽和磁束密度で制限されるハード磁性合金単体の磁石特性を、より飽和磁束密度の大きなソフト磁性合金をハード磁性合金と複合化させた永久磁石である。
画像

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研究分野
  • 磁気の計測法・機器
展開可能なシーズ 高い空間分解能を有する磁気力顕微鏡用の磁性探針及びその製造方法を提供する。
10nm以下の空間分解能までも実現可能な交換スプリング機構を利用する磁気力顕微鏡用の磁性探針が得られるので、現行の記録密度100Gb/inを超える高密度磁気記録媒体の微細な磁気ビットの磁化方向の変化並びに磁区構造等の観察が可能となる。
用途利用分野 磁気記録媒体、磁気力顕微鏡、磁性探針
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 石尾 俊二, 斉藤 準, 林 映雨, . 磁気力顕微鏡用の磁性探針及びその製造方法. 特開2006-084449. 2006-03-30
  • G01N  13/22     

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