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金属微粒子配列シート

シーズコード S090000790
掲載日 2009年9月14日
研究者
  • 渡辺 茂
技術名称 金属微粒子配列シート
技術概要 表面に、径が3~15nmの略円形の疎水性又は親水性の領域を10~50nmの間隔で多数有するミクロ相分離膜上の略円形領域に、金属微粒子含有球状ミセルを配置させてなる金属微粒子配列シートである。そして、金属微粒子含有球状ミセルが、径が1~5nmの金属微粒子を有機配位子で覆ったコアシェル型球状ミセルであり、ミクロ相分離膜上の略円形の領域が親水性の場合には親水性基、ミクロ相分離膜上の略円形の領域が疎水性の場合には疎水性基が外側に露出した球状ミセルである金属微粒子配列シートである。表面上に3~15nmの略円形の親水性の領域を10~50nmの間隔で多数有するミクロ相分離膜を、径が1~5nmの金属微粒子を有機配位子で覆い外側に浸水性基が露出したコアシェル型球状ミセルの溶液に浸漬させる。すると、表面ナノ相分離構造により、溶液中でミクロ相分離膜の親水性領域に金属超微粒子ミセルが配列した高分子シートが得られる。このシートをシリコンウエハなどの基板上に移動させ有機物を分解除去することによりナノメ-トルサイズのドットが形成された基板を得る。
研究分野
  • 固体デバイス材料
  • ミセル
  • 界面の電気的性質一般
展開可能なシーズ 従来製造が困難であった10nm以下の金属ドットを配列させたシリコンウエハなど基板及びこのような基板を生産性よく形成させる手段を提供する。
金属微粒子の大きさは1~5nmであることから、その自由電子の静電エネルギーは、室温での電子の熱励起レベルよりも高く、このような金属超微粒子をシリコンウエハのような基板上にナノメートルスケールの間隔で堆積させた金属ドットは、室温で動作する量子素子へ応用することができる。
用途利用分野 量子素子、単一電子トランジスタ、単一電子メモリ-
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 渡辺 茂, . 金属微粒子配列シート. 特開2006-088310. 2006-04-06
  • B82B   1/00     
  • B32B   5/16     
  • B32B  15/08     
  • B82B   3/00     
  • H01L  29/06     
  • H01L  29/66     
  • B82Y  30/00     
  • B82Y  40/00     

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