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超微細パターン転写用Zr-Cu系金属ガラス合金製金型

シーズコード S090000800
掲載日 2009年9月14日
研究者
  • 井上 明久
  • シャルマ パルマナンド
  • 木村 久道
技術名称 超微細パターン転写用Zr-Cu系金属ガラス合金製金型
技術概要 集束イオンビームにより加工された状態で線幅又はドット径が20nm以下であるナノスケールの寸法のパターンが形成されたZr-Cu系金属ガラス合金からなる超微細パターン転写用金型である。Zr-Cu系金属ガラス合金は、スパッタ法により基体上に形成され薄膜である。この金型は従来の電鋳用の原盤として使用される。原盤として用いて光ディスク製造用のマスターを製作すれば、50GB以上の高密度記録媒体はもとより次々世代の光ディスクとして必要な500GB以上の高密度記録媒体を製造することもできる。超微細パターンの形成前又は形成後に所望の表面構造に過冷却液体領域で塑性変形加工された超微細パターン転写用金型である。これらの金型を、熱硬化性樹脂膜、結晶性金属膜、金属ガラス合金膜又は半導体膜にプレスすることにより超微細パターンを転写することができる。さらに、ナノ技術分野では、生分解性樹脂を用いたドラッグデリバリーチップ、100nm以下の微小細孔を開けた構造体、微細孔に金属、半導体、電界発光体を充填したハイブリッド素子膜なども提案されているが、このナノ・インプリント用金型はこれらの用途にも適用できる。
研究分野
  • 射出成形
  • 特殊加工
  • 電子・磁気・光学記録
展開可能なシーズ 従来よりもさらに微細で高精度のパターンを有する耐久性、転写性等に優れ、曲面構造や積層構造などの複雑な金型形状の製作も容易な金型の提供、例えば、次々世代光ディスクといわれる500GBの情報を記録できる光ディスクの製造を可能にする金型を提供する。
特に高強度、高硬度で表面平滑性が優れ、20nm以下の線幅やドット径の形成が容易な金型を実現できる。
用途利用分野 情報記録媒体、光ディスク、
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人科学技術振興機構, 学校法人東北大学, . 井上 明久, シャルマ パルマナンド, 木村 久道, . 超微細パターン転写用Zr-Cu系金属ガラス合金製金型及びその製造方法. 特開2006-147727. 2006-06-08
  • H01L  21/027    
  • B81C   5/00     
  • G11B   7/26     

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