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pチャネル電界効果トランジスタ

シーズコード S090000969
掲載日 2009年9月14日
研究者
  • 川原田 洋
技術名称 pチャネル電界効果トランジスタ
技術概要 pチャネル電界効果トランジスタは、液体電解質をゲートとして使用し、水素と窒素の混合プラズマにより水素終端表面をアミノ化し、バイオセンサー機能を有する、水素終端とアミノ終端が混在したダイヤモンド表面をチャネルとする。高抵抗表面チャネル1を有するダイヤモンド電界効果トランジスタをオゾン処理することにより作製する。このオゾン処理により、ダイヤモンドの表面導電層が徐々に失われ、閾値電圧の絶対値は、オゾン処理の時間の増加に伴い増加する。よって、閾値電圧がオゾン処理によりコントロールできる。ドレイン電極5とソース電極4は、液体電解質8とオゾン処理より保護するために、エポキシ樹脂6、7で覆われる。ダイヤモンド表面のエポキシ樹脂6、7で覆われていないチャネル領域は、直接液体電解質8と酸化物オゾンと接触する。参照電極9がゲート電極として用いられる。全てのデバイスがエンハンスメントモードで、p型表面導電層3に作製され、チャネルの長さは500μmで、幅は10mmである。
画像

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S090000969_01SUM.gif
研究分野
  • トランジスタ
展開可能なシーズ 水素と窒素の混合プラズマにより水素終端表面をアミノ化し、水素終端とアミノ終端が混在したダイヤモンド表面をチャネルとしてなるpチャネル電界効果トランジスタを提供する。
生体分子の固定には水素終端構造ではなく、他の終端構造(酸素終端、アミノ終端)が必要であるが、そのような終端構造でもトランジスタが動作することが分かり、表面へ任意の分子を固定することができる。
用途利用分野 トランジスタ、チャネル、バイオセンサー
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 川原田 洋, . pチャネル電界効果トランジスタ. 特開2007-086088. 2007-04-05
  • G01N  27/414    

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