TOP > 技術シーズ検索 > 走査型プローブ顕微鏡

走査型プローブ顕微鏡

シーズコード S090000995
掲載日 2009年9月14日
研究者
  • 前田 康二
  • 成瀬 延康
技術名称 走査型プローブ顕微鏡
技術概要 この走査型プローブ顕微鏡1は、試料手段Aに対峙するように配置される探針(プローブ)2と、試料Aに光を照射する光照射手段3と、所定の変調周波数で試料Aの電場を変調させるための電場変調手段4とを備える。さらに、試料Aに変位電流が発生するような周波数を変調周波数として設定する変調周波数設定手段5と、電場変調手段4からの信号(変調信号)fと同期をとりながら変位電流Idを検出して試料Aを測定する試料測定手段6とを備える。この走査型プローブ顕微鏡1によれば、変位電流Idを利用して測定を行うので、トンネル電流を利用した時のように試料表面や探針の状態等の影響をその測定結果が敏感に受けてしまうことはほとんどなく、その面において測定の再現性(信頼性)を確保できる。そしてこのように測定に信頼性が高いことから、トンネル電流のときのように波長掃引を何度も行う必要はなく、その分、測定時間を短縮できる。変調周波数設定手段5は、複数の変調周波数を設定できるように構成しておき、必要に応じて変調周波数を切り替えるようにしてもよい。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

S090000995_01SUM.gif
展開可能なシーズ 走査型プローブ顕微鏡を用いての電場変調分光測定を再現性よく行えるようにする。
この顕微鏡では、変位電流を利用した測定を行うので、トンネル電流を利用した時のように試料表面や探針の状態等の影響をその測定結果が敏感に受けてしまうことはほとんどなく、その面において測定の再現性(信頼性)を確保できる。また変位電流を利用するので、探針と試料との離間距離の変動に伴う測定結果の変動はほとんどなく、その面においても、測定の信頼性を確保できる。
用途利用分野 走査型プローブ顕微鏡
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 前田 康二, 成瀬 延康, . 走査型プローブ顕微鏡. 特開2008-224477. 2008-09-25
  • G01Q  60/10     
  • G01Q  90/00     

PAGE TOP