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酸素透過構造体及びその作製方法

シーズコード S090001091
掲載日 2010年3月5日
研究者
  • 高村 仁
  • 岡田 益男
技術名称 酸素透過構造体及びその作製方法
技術概要 酸素透過薄膜と多孔質基板とからなる酸素透過構造体の酸素透過薄膜と多孔質基板との間にセリウム酸化物をバッファ層として挟むことによって、高い酸素透過特性と強度を兼ね備えた酸素透過構造体とその作製方法を提供する。酸素透過構造体1は、多孔質基板2と、多孔質基板2上に積層したセリウム酸化物3と、セリウム酸化物3上に積層した酸素透過薄膜4とより成る。セリウム酸化物3は、例えば組成式CeOで表されるセリウム酸化物であり、膜厚は5nm以上であればよい。酸素透過薄膜4は、例えば膜厚が5μm以下の組成式、LaSr1-XGaFe1-YOやLaSr1-XCoFe1-YO(ただし、0<x<1、0<y<1)で表される酸素透過薄膜である。
画像

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研究分野
  • 薄膜成長技術・装置
  • 膜分離
展開可能なシーズ 高い酸素透過特性と強度を兼ね備えた酸素透過構造体及びパルスレーザ蒸着による酸素透過構造体の作製方法を提供する。
セリウム酸化物バッファ層が基板と酸素透過薄膜との間の不可避的反応を抑止する。また、セリウム酸化物バッファ層上の酸素透過膜が非晶質、または微細な結晶粒からなるためクラック等が発生しにくく、また酸素透過膜を薄くすることができので、高い酸素透過特性と強度を兼ね備えた酸素透過構造体にできる。
用途利用分野 酸素透過構造体、燃料電池材料
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人科学技術振興機構, . 高村 仁, 岡田 益男, . 酸素透過構造体及びその作製方法. 特開2003-320607. 2003-11-11
  • B32B   9/00     
  • C23C  14/28     
  • B01D  71/02     

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