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シリコンカーバイド系多孔質体及びその製造方法

シーズコード S090001134
掲載日 2010年3月5日
研究者
  • 大谷 朝男
  • 白石 壮志
技術名称 シリコンカーバイド系多孔質体及びその製造方法
技術概要 メソポーラスシリカ粉末を鋳型として用い、シリカ粉末が有するメソ孔にシリコンカーバイド前駆体溶液を充填、焼成して、シリカ粉末内部にシリコンカーバイドを形成し、更に、メソポーラスシリカ粉末のシリカ成分を除去する事で高い比表面積を有する多孔質体を得る。多孔質体は三次元網目を形成、かつ網目内部の空孔が連続気孔構造を有する。メソポーラスシリカ粉末11の細孔にシリコンカーバイド前駆体溶液12を充填する。同粉末は粒径が数10μm、細孔が2~50nmのメソ孔を有するものが好適である。また前駆体溶液のシリコンカーバイドはポリカルボシランが、溶媒はTHF、トルエンが良い。この溶液にメソポーラスシリカ粉末を浸漬、攪拌してメソポーラスシリカ粉末の細孔内部にシリコンカーバイド前駆体溶液を充填する。次いで前駆体溶液から充填粉末13を取り出しフィルター後、乾燥させる。さらに大気圧下150~200℃で12~24時間保持した後、不活性ガス雰囲気下1000~1200℃で1~2時間焼成しシリコンカーバイド系多孔質体15を得る。製品の比表面積は450~700m/gである。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス材料
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 固体の製造・処理一般
展開可能なシーズ 従来の触媒担体および各種フィルター材は高い比表面積と耐熱性の両者を同時に満足できない欠点があった。高い比表面積を有する耐熱シリコンカーバイド系多孔質体及びその製造方法を提供する。すなわち、多孔質体は三次元網目状の形状を持ち、かつ網目内部の空孔が連続気孔構造を有するシリコンカーバイドが製品の特徴である。多孔質体の目標とするBET比表面積は450~700m2/gである。
シリコンカーバイド系多孔質体は、SiCの高い耐熱温度、優れた熱伝導性と電気伝導性、化学的安定性等の特性を備えるとともに、高い比表面積を有するという利点がある。従って、その応用範囲は吸着剤、脱臭剤、排ガスフィルター、高温化学反応用触媒担体、高温ガス浄化フィルター、溶融金属濾過用フィルター等極めて広い。
用途利用分野 高温ガス浄化フィルター、溶融金属濾過用フィルター、マイクロ波吸収発熱体、通気性断熱材
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人群馬大学, . 大谷 朝男, 白石 壮志, . シリコンカーバイド系多孔質体の製造方法. 特開2006-327857. 2006-12-07
  • C01B  31/36     
  • B01J  20/02     
  • B01J  20/28     
  • C04B  38/00     

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