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薄膜共振器

シーズコード S090001325
掲載日 2010年3月5日
研究者
  • 渡辺 好章
  • 柳谷 隆彦
技術名称 薄膜共振器
技術概要 圧電体膜を上下電極の間に設)けて成り、電極間に交流電圧が印加されると圧電体膜の厚み方向に伝播する横波の定在波が形成される共振器本体と、この共振器本体の少なくとも一部に接触する接触液とを備える。横波定在波が形成される共振器本体を得るために、圧電体膜には、ZnO及びAlNのいずれかから成り[0001]方向が膜面に略平行な1方向に配向したものを用いることができる。圧電体膜には、ZnO及びAlNのいずれかから成り[0001]方向が膜面に略平行な1方向に配向した第1圧電体膜と、材料及び厚さが第1圧電体膜と同じであり[0001]方向が第1圧電体膜と180°異なる方向に配向した第2圧電体膜と、を重ねた積層体を用いる。更に、第1圧電体膜及び第2圧電体膜を交互に複数重ねた積層体を用いることもできる。「接触液」は粘性の温度変化により共振器本体の周波数の温度変化を抑制する機能を有し、具体的には、温度上昇に伴い粘性係数が低下し、空気よりも熱伝導率が良く、空気よりも縦波を伝播しやすいような特性を持つ液体である。
画像

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研究分野
  • 圧電デバイス
展開可能なシーズ 温度変化による共振周波数の変化が小さく、スプリアスモード振動を抑制することができる薄膜共振器を提供する。
圧電体膜の弾性定数変化による作用と接触液の粘性変化による作用が相殺され、共振器の温度変化による共振周波数の変化が抑制される。また、本体から発生する熱を、接触液を通して外部に放出しやすく、共振器の温度変化(上昇)による共振周波数の変化が更に抑制される。更に、スプリアスモードの中で圧電体膜に平行な方向以外に変位成分を持つ音波が接触液中に漏洩するため、スプリアスモードを減衰させることができる。
用途利用分野 携帯電話機、無線LAN送信機、無線LAN受信機
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人同志社, . 渡辺 好章, 柳谷 隆彦, . 薄膜共振器. 特開2007-243361. 2007-09-20
  • H03H   9/17     
  • H01L  41/09     
  • H01L  41/187    
  • H01L  41/18     
  • H01L  41/22     

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