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融合型化学・物理現象検出装置

シーズコード S090001344
掲載日 2010年3月5日
研究者
  • 澤田 和明
  • 石田 誠
技術名称 融合型化学・物理現象検出装置
技術概要 同一センシング領域を有するセンシング部101と、センシング部101の一方側に配置されるセパレートゲート102と、セパレートゲート102に接続される光電荷蓄積部103と、光電荷蓄積部103に接続される第1の出力用MOSFET104及び第1のリセット用MOSFET105を備えている。また、センシング部101のもう一方側に配置されるトランスファーゲート106と、トランスファーゲート106に接続される化学ポテンシャル情報電荷蓄積部107と、化学ポテンシャル情報電荷蓄積部107に接続される第2の出力用MOSFET108及び第2のリセット用MOSFET109とを備えている。光情報は光量であり、光量を電荷に変換し第1の出力用MOSFET104のゲートを介して光電荷蓄積用拡散部となるドレイン領域に出力し、化学ポテンシャル情報は水素イオン量であり、水素イオン量を第2の出力用MOSFET108のゲートを介して水素イオン量蓄積用拡散部となるドレイン領域に出力し、同一センシング領域に入ってきた光量と水素イオン量を第1の出力用MOSFET104と第2の出力用MOSFET108に読み出して同時に出力する。
画像

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研究分野
  • 物理化学一般
  • 光導電素子
展開可能なシーズ DNAなどの生化学計測の場合、CCDデバイスを用いて検出感度を遙かに上げることにより、同一場所の複数の情報を同時に取得することができると考えた。CCDで単体センサ、1次元、2次元のアレイデバイスを製作することは、技術上多くのノウハウを必要とする。そこで、CMOS製造プロセスを用いて、安価に、しかも容易に製作ができる融合型化学・物理現象検出装置を提供する。
同一場所の複種類の物理・化学現象を同時に取得し、高感度な計測が可能になる。さらにアレイ化することにより、その分布を同時に取得可能である。また、ダイオキシン濃度測定チップ、癌領域観察用イメージセンサやDNA試料の測定装置としての適用が期待できる。
用途利用分野 化学・物理現象検出装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人豊橋技術科学大学, . 澤田 和明, 石田 誠, . 融合型化学・物理現象検出装置. 特開2004-028723. 2004-01-29
  • G01N  27/414    
  • H01L  27/146    
  • H01L  27/14     

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