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強誘電体のドメイン観察方法および装置

シーズコード S090001356
掲載日 2010年3月5日
研究者
  • 岸田 英夫
  • 岡本 博
技術名称 強誘電体のドメイン観察方法および装置
技術概要 強誘電体試料に電場を印加することにより、180度分極方向の異なるドメインに、各々異なった光学スペクトルを生成させ、強誘電体試料表面の各点における光学スペクトルを測定し、各点における分極方向を特定し、強誘電体試料のドメイン構造を可視化するとともに、強誘電ドメインの向きに応じて、1f信号の符号が変わることにより、180度ドメインを区別できるようにした。強誘電体試料1からの反射光15を検出器16としての光電子増倍管を用いて検出する。検出器16により取り出した電流信号は、電流電圧変換器17で電圧信号に変換する。この信号をデジタルマルチメーター18とロックインアンプ19に入力し、デジタルマルチメーター18では反射光量Rを読み取り、ロックインアンプ19では入力電圧の周波数fに同期した成分f(またはfの2倍に同期した成分2f)をΔRとして読み取る。このRとΔRをそれぞれコンピュータ20に取込み、ΔR/Rを各波長について計算していけば電場変調反射スペクトルを得ることができる。
画像

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研究分野
  • 測光と光検出器一般
  • 強誘電体,反強誘電体,強弾性
展開可能なシーズ レーザー光を必要とせず、通常のランプ光で観察が可能であり、また反射型、透過型のいずれにおいても、強誘電体のドメインの観察が可能であり、観察可能範囲を強誘電体全般に広げることができる強誘電体のドメイン観察方法および装置を提供する。
レーザー光を必要とせず、通常のランプ光で観察が可能であり、また、反射型、透過型いずれの強誘電体においてもドメインの観察が可能であり、観察可能範囲を誘電体全般に広げることができる。
用途利用分野 強誘電体のドメイン観察装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 岸田 英夫, 岡本 博, . 強誘電体のドメイン観察方法および装置. 特開2004-085399. 2004-03-18
  • G01N  21/27     
  • G01N  21/21     
  • H01L  21/8246   
  • H01L  27/105    

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