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マイクロイオンビーム形成用部材の配置方法及びプリズム付プリズム調整台

シーズコード S090001384
掲載日 2010年3月5日
研究者
  • 今関 等
  • 酢屋 徳啓
  • 阿川 義昭
  • 横井 孝之
  • 菅原 正次
技術名称 マイクロイオンビーム形成用部材の配置方法及びプリズム付プリズム調整台
技術概要 所定の鉛直線上に、水平方向からの入射光を鉛直方向に偏向させるための偏向素子(プリズム等)を配置する。水平方向からトランシットを使用して、トランシットの水平及び垂直方向の基準線の交点にマイクロイオンビーム形成用部材の光学中心が位置するように調整して配置する。偏向素子を介して水平方向から所定の鉛直線上を光が通過するようにするためには、必要に応じて、偏向素子への光の入射又は出射角度を調整する必要がある。このため、所定の鉛直線上のマイクロイオンビーム形成用部材が配置されることになる上方に基準点を設けておいて、偏向素子に対してレーザビームを照射し、基準点にレーザビームが照射されるか否かを確認しながら偏向素子の位置を調整する。プリズム付プリズム調整台は、プリズムを少なくとも鉛直方向の軸を中心として180度回転自在とする回転板と、プリズムを高さ方向に調整自在とする調整機構とを備える必要がある。このような機構を採用することにより、水平方向から照射されるレーザビーム等を鉛直方向に偏向させて所望の軌道を通過させるためのプリズムの位置調整が容易となる。
画像

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研究分野
  • 電子ビーム,イオンビーム
  • 電磁石
  • レーザ一般
展開可能なシーズ 細胞に高エネルギーイオンを照射し、放射損傷の度合いを観察したり、或いは、被照射体から発生する特性X線を測定したりするPIXE分析手法や、RBS精密ゴニオメータシステム等の分野で用いられるマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法に関する。マイクロイオンビーム形成用部材は、所定の鉛直線上に配置される必要があるが、鉛直上方向に容易に配置するための方法及びそれに使用されるプリズム付きプリズム調整台を提供する。
マイクロイオンビーム形成用部材を、水平方向からトランシットを使用して鉛直上方向に容易に配置することが可能となり非常に作業性に優れ、しかも、精度の高い配置が可能となる。各部材の周面に従来設けていたケガキ線を設ける必要がないので、部材の製造費用を下げることができ、しかも、美観に優れる。プリズム付プリズム調整台によれば、所定の鉛直線を、水平方向からレーザビーム等を照射して容易に割り出すことができる。
用途利用分野 マイクロイオンビーム形成装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 株式会社アルバック, 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, . 今関 等, 酢屋 徳啓, 阿川 義昭, 横井 孝之, 菅原 正次, . マイクロイオンビーム形成用部材の配置方法及びプリズム付プリズム調整台. 特開2005-135710. 2005-05-26
  • H01J  37/317    

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