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物体の加工処理方法と、その装置

シーズコード S090001391
掲載日 2010年3月5日
研究者
  • 作道 訓之
  • 粟津 薫
技術名称 物体の加工処理方法と、その装置
技術概要 被処理物体を収容する真空槽Wに原料ガスを導入し、真空槽W内の原料ガスを間欠的に電離させてプラズマを生成する。原料ガスは真空槽W内に導入され、真空槽W内の被処理物体の周囲に均一に拡散された後、電離されてプラズマを生成し、イオンシースを介して所定のイオンが被処理物体の表面に向けて加速され、被処理物体に対して所定の加工処理をすることができる。また、原料ガスを電離させるには、誘導結合または容量結合により、原料ガス中に所定の電力密度以上の高周波電力またはマイクロ波電力を投入する。原料ガスの圧力変化の時期と、原料ガスの電離の開始時期とを同期させるときは、一層均一な加工処理が可能である。また、原料ガスの圧力を間欠的に変化させるには、原料ガスを真空槽Wに対して間欠的にパルス状に導入する他、原料ガスを真空槽Wに連続的に導入するとともに真空槽の排気系の排気速度を時間的に変化させる。原料ガスを間欠的に電離させることにより、原料ガスをプラズマ中に導入せず、真空槽内の原料ガスがプラズマ化していないときに原料ガスを導入するから、原料ガス中の金属等が導入口の近傍などに付着してしまう不都合を最少に抑えることができる。
画像

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研究分野
  • プラズマ装置
  • 気体放電
  • 特殊加工
展開可能なシーズ 真空槽内の原料ガスを間欠的に電離させてプラズマを生成することによって、金属イオンを利用する場合であっても、複雑形状の被処理物体に対して均一な加工処理を容易に、しかも安定に実現することができる物体の加工処理方法と、その装置を提供する。
真空槽内の原料ガスを間欠的に電離させてプラズマを生成することによって、原料ガスは、被処理物体の周囲に均一に拡散されてプラズマ化されるから、三次元の複雑形状の被処理物体に対して均一な加工処理を容易に実現することができる上、原料ガスがプラズマ中に導入されることがないから、金属イオンを利用する場合であっても、金属が導入口の近傍などに付着したり、それによって操業の安定性が損なわれたりするおそれがない。
用途利用分野 加工処理装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人金沢工業大学, . 作道 訓之, 粟津 薫, . 物体の加工処理方法と、その装置. 特開平11-297493. 1999-10-29
  • H05H   1/46     
  • C23C  14/54     

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