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X線回折要素及びその製造方法

シーズコード S090001954
掲載日 2010年3月19日
研究者
  • 松原 英一郎
  • 川島 勉
  • 西木 直巳
  • 前田 幸男
  • 岡田 彌
  • 吉村 進
技術名称 X線回折要素及びその製造方法
技術概要 発散X線源からのX線を集光するX線集光装置に使用する、X線をブラッグ反射する結晶面により構成されたX線回折面を有して成るX線回折要素である。X線回折面は、X線源およびX線を集めるべき点を両焦点とする楕円の式:y=b(1-x/a1/2(式中、a=(b+L/4)1/2、b=L・tanθ/2であり、Lは両焦点間の距離、θはブラッグ角である。)に補正項としてx/kを加えた曲線:y=b(1-x/a1/2+x/k(式中、nは正の整数であり、kは0より大きい任意の数である。)の少なくとも一部分を両焦点を通過する直線(即ち、x軸)を回転軸として回転させることにより得られる回転体(以下、「回転補正楕円体」とも呼ぶ)の表面の少なくとも一部分を実質的に構成する。X線源Sと集光点Fの距離をLとし、結晶のブラッグ反射角をθとすると、補正楕円曲線10が得られる。曲線10をx軸の回りで回転させると、回転補正楕円体が得られ、X線回折要素12は、その回転補正楕円体の表面の少なくとも一部分をX線回折面14として有する。
画像

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S090001954_01SUM.gif
研究分野
  • X線技術
  • X線回折法
展開可能なシーズ 発散X線源から出たX線を効率よく集光することができる新たなX線回折要素を提供することにより、集光点におけるX線強度をより強くできるX線集光装置を提供する。また、所定の形状を有するX線回折要素を複数の結晶片を用いて簡単に形成できる方法およびその方法により形成されるX線回折要素を提供する。
X線集光装置の形状をヨハン型よりも補正楕円曲線を回転させた形状とする方が、大きな立体角でX線管からのX線をブラッグ反射することができるとともに、集光点における収差が小さいため、集光点におけるX線強度が強くなる。また、トロイダル形状の支持体を樹脂で形成し、その外側面にX線回折可能結晶をはりつけることにより、集光点におけるX線強度の強いX線回折要素を精度良く、簡単に製作することが可能となる。
用途利用分野 微小領域X線分析装置、X線透過検査装置、X線顕微鏡、X線露光装置、X線集光装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, 松原 英一郎, 松下電器産業株式会社, . 松原 英一郎, 川島 勉, 西木 直巳, 前田 幸男, 岡田 彌, 吉村 進, . X線回折要素及びその製造方法. 特開平11-133190. 1999-05-21
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