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マルティプルビームシアリング干渉を用いたビームコリメーション法およびそれを利用したレンズの焦点距離または点光源の変位測定方法

シーズコード S090001957
掲載日 2010年3月19日
研究者
  • 松田 浄史
  • コリン シェパード
  • 永寿 伴章
技術名称 マルティプルビームシアリング干渉を用いたビームコリメーション法およびそれを利用したレンズの焦点距離または点光源の変位測定方法
技術概要 光源1から発射されたレーザー光を、コリメーターレンズ3で平行光とし、コリメーターレンズ3の後方に配置した片面が光軸に対し直角に他面が光軸に対して傾斜面として形成されたガラス板4によって干渉光を形成し、スクリーン6上に結像された干渉縞が傾斜面の傾斜軸に対して直角となるようにレンズを光軸に沿って移動して平行光とするようにした。マルティプルビームシアリング干渉法は、透過形と反射形の二つの方法が考えられる。ガラス板は光軸に対してθ傾向けて置き、マルティプルビームシアを行わせる。ウェッジの角度はαとする。αは非常に小さい角度で視野の中に一本の干渉縞しか存在しない。基本原理は、ウェッジだけの干渉縞が生ずる場合には、横方向に干渉縞が生ずる。また、シアだけの干渉縞が生ずる場合には、球面波になっている場合、縦方向に干渉縞が生ずる。両方が同時に発生するような場合には、斜めの干渉縞が生ずる。斜めになる程度は、ウェッジの位相変化とシアによる位相変化の程度によって決まる。レンズを光軸に沿って動かし、干渉縞が横方向になる位置を求めることによりコリメーションすることができる。
画像

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研究分野
  • 光学的測定とその装置一般
  • 光の散乱,回折,干渉
展開可能なシーズ レーザーを光源とし、コリメータレンズ、片側がウェッジに他方が平行になったガラス板、結像レンズ、スクリーンなどから透過形の光学系を構成し、これにより容易に平行光を得たり、あるいはレンズの焦点距離を求めることができるようにする方法を提供する。
平行光、レンズ焦点さらには光源の位置を従来の方法に比較して格段に精度よくかつ正確に測定できるので、各種の光学系での計測精度の向上を図ることができる。
用途利用分野 ビームコリメーション装置、レンズの焦点距離測定装置、点光源の変位測定装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人産業技術総合研究所, . 松田 浄史, コリン シェパード, 永寿 伴章, . マルティプルビームシアリング干渉を用いたビームコリメーション法およびそれを利用したレンズの焦点距離または点光源の変位測定方法. 特開平11-190679. 1999-07-13
  • G01M  11/00     

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