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部材表面検査装置及び部材表面検査方法

シーズコード S090001985
掲載日 2010年3月19日
研究者
  • 石井 抱
  • 山本 健吉
  • 角田 真一
技術名称 部材表面検査装置及び部材表面検査方法
技術概要 レーザ装置2から略水平に出射されたスリットレーザ光は、ハーフミラー3により鉛直下向きに進行方向が変更され、後述のシリンドリカルレンズ5を通って被検査部材1の表面(上面)にライン状に照射される。この表面上の光照射部Aは、図の紙面に垂直な方向に延びている。このことで、レーザ装置2は、被検査部材1の表面に光をライン状に照射する照射手段を構成する。被検査部材1の表面とカメラ7(撮像素子8)との間には、ライン方向から見て被検査部材1の表面上の光照射部Aを通る2つの異なる直線の間を通る反射光を撮像素子8へと導くことが可能なシリンドリカルレンズ5が配設されている。すなわち、被検査部材1の表面が拡散面である場合、被検査部材1の表面に照射された光の表面での反射光は、ライン方向から見て、基準線に対して±90°の範囲で一様に拡散する。この拡散する反射光のうち、基準線に対して±θの角度範囲を通る反射光を、シリンドリカルレンズ5によって、カメラ7の撮像素子8へと導くようにしている。
画像

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S090001985_01SUM.gif
研究分野
  • 光学的測定とその装置一般
展開可能なシーズ 部材表面に光をライン状に照射して、部材表面の検査を自動で行うとき、照射装置が1つのみでは、検出不能な凹凸等が存在し、このような凹凸は、人間が目視で検査する場合でも、見る角度を変えることで検出可能である。そこで、シリンドリカルレンズを用いて、ライン方向から見て2つの異なる所定の直線の間を通る反射光を、受光手段へと容易にかつ確実に導き、1個ずつの発光装置と受講装置で検査を可能とする。
1個ずつの発光装置と受講装置で検査が可能であるので装置が簡単になる。また、部材表面において検査すべき部分(光照射部)を移動させながら順次検査を行うことができ、部材表面全体の検査を容易に行うことができる。被測定物の表面全体の良否判定を短時間で行うことができるので、基板やプリント配線板等を製造する工場の製造ラインや、自動車製造工場の塗装ライン等に容易に適用できる。
用途利用分野 基板製造ライン用検査装置、プリント配線板製造ライン用検査装置、自動車製造工場の塗装ライン用検査装置、部材表面検査装置、部材表面検査装置用センサ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人広島大学, . 石井 抱, 山本 健吉, 角田 真一, . 部材表面検査装置及び部材表面検査方法. 特開2008-145318. 2008-06-26
  • G01N  21/84     

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