TOP > 技術シーズ検索 > 自然超格子ホモロガス単結晶薄膜の製造方法。

自然超格子ホモロガス単結晶薄膜の製造方法。

シーズコード S090002084
掲載日 2010年3月19日
研究者
  • 細野 秀雄
  • 植田 和茂
  • 折田 政寛
  • 太田 裕道
  • 平野 正浩
技術名称 自然超格子ホモロガス単結晶薄膜の製造方法。
技術概要 YSZ(111)単結晶基板(10mm□×0.5mmt)上に,下記の方法により基板温度800℃でZnO薄膜を成長させ、PLD法により,酸素圧力3×10-3Paに設定した真空チャンバー中で,ZnO焼結体ターゲットにKrF(248nm)エキシマレーザーを照射してZnOを蒸発させ,800℃に加熱したYSZ(111)単結晶基板上に堆積速度2nm/minの条件で1時間薄膜成長を行った。X線反射率測定から求めたZnO薄膜の厚みは120nmであった。作製したZnO薄膜の結晶性をHRXRDにより評価したところ,YSZ(111)基板上にZnOは(0001)配向しており,そのチルト角は0.02~0.1度であった。In‐plane測定によりエピタキシャル成長であることを確認した。エピタキシャル関係はZnO(11‐20)//YSZ(1‐10)であった。
研究分野
  • 結晶成長技術・装置
  • 薄膜成長技術・装置
  • 光デバイス一般
展開可能なシーズ 超格子構造では、電子の移動速度が大きくなり、共鳴トンネル効果によりトンネル電流が流れやすくなり、電子と正孔の結合による発光効率が高くなるなどの特徴が生じる。こうした性質を利用して、超格子構造は、HEMTと呼ばれる高速トランジスター、通信用および光デスク用半導体レーザー材料を提供する
自然界に存在する超格子を積極的に利用すれば、比較的、容易に、層厚が精密に制御された超格子構造を作成する事ができ、成膜プロセスを簡素化でき、自然超格子構造では、二次元超格子構造(量子井戸構造)に加えて、一次元超格子構造(量子ワイヤー構造)を形成できる可能性があり、酸化物などに化学組成を広げる事ができる
用途利用分野 光デバイス、電子デバイス、X線光学デバイス
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, HOYA株式会社, . 細野 秀雄, 植田 和茂, 折田 政寛, 太田 裕道, 平野 正浩, . 自然超格子ホモロガス単結晶薄膜の製造方法。. 特開2003-137692. 2003-05-14
  • C30B  29/22     

PAGE TOP