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薄膜発熱体及びその製造法

シーズコード S090002413
掲載日 2010年3月19日
研究者
  • 吉門 進三
  • 佐藤 雅志
技術名称 薄膜発熱体及びその製造法
技術概要 薄膜発熱体は、金属ケイ化物‐ケイ素複合体の薄膜を基体上に積層したものからなり、その薄膜は、金属ケイ化物の結晶粒がケイ素を介して互いに接合された内部構造を有することを特徴とする。金属ケイ化物としては、例えば、モリブデン又はタングステン又はタンタル又はそれらの合金のケイ化物を挙げることができる。製造方法は、金属ケイ化物とケイ素の混合物を形成材料としてスパッタリング、真空蒸着、物理的気相成長法又は化学気相反応法を行い、金属ケイ化物の結晶粒がケイ素を介して互いに接合された構造の金属ケイ化物‐ケイ素複合体の薄膜を作り、それを基体上に積層させることを特徴とする。金属ケイ化物と炭素の混合物を形成材料とすることもできる。図は本薄膜発熱体を使用した発熱エレメントの例である。薄膜発熱体1の発熱面(薄膜面)1aに、厚さ0.2mmの雲母の絶縁膜2を介して、厚さ5.0mmのアルミ板3をボルト5及びナット6で固定した。また、発熱面1aとネジの接触部は導電性を向上させるためにプラチナ薄膜あるいは箔を介して圧着し、さらに、薄膜発熱体1の基体面にはステンレス製の電極4a、4bを接合した。
画像

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研究分野
  • 薄膜一般
  • 加熱
  • 固体デバイス製造技術一般
展開可能なシーズ 耐酸化性が強く、大気中において長時間連続して高温で発熱させても性能が低下しない薄膜発熱体およびその製造方法を提供する。
金属ケイ化物の結晶粒がケイ素を介して互いに接合された内部構造とすることで、大気中において長時間にわたって高温度で連続発熱をさせても、酸化反応が薄膜内部に進行せず、抵抗値及び発熱温度もほとんど変動しない。この方法により、耐熱性に優れ、安定に作動し、また、迅速な温度制御が可能で、しかも小電力で作動する薄膜発熱体を提供する。
用途利用分野 薄膜発熱体
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人同志社, . 吉門 進三, 佐藤 雅志, . 薄膜発熱体. 特開2008-243460. 2008-10-09
  • H05B   3/14     
  • H05B   3/74     
  • H05B   3/20     
  • H05B   3/12     

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