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静電気力を用いたハンドリング対象物のハンドリング装置

シーズコード S090002428
掲載日 2010年3月19日
研究者
  • 樋口 俊郎
  • 傅 寶莱
技術名称 静電気力を用いたハンドリング対象物のハンドリング装置
技術概要 100は面上に電極が形成されるベース、101は4つの電極ユニットに分割された電極面、110,130,150及び170は各電極ユニットの電圧を制御するコントローラ、190はハンドリング対象物である。116,136,156及び176は各電極ユニットとハンドリング対象物190間のギャップをセンシングする変位センサーや近接センサーである。変位センサー116はギャップをセンシングし、コントローラ110に送信する。ギャップがターゲットギャップより大きければ、スイッチ111及び112をオンにし、電圧V1及びV2をそれぞれ電極要素117及び118に印加する。発生する静電気吸引力でハンドリング対象物190を吸引する。逆の場合は、スイッチ111と112をオフにし、スイッチ114と115をオンにする。今まで正極性の電圧V1を印加された電極群117に負極性の電圧V3を印加し、今まで負極性の電圧V2を印加された電極群118に正極性の電圧V4を印加する。この電圧V3及びV4を印加することにより、電極ユニットとその対向する対象物の面の間に生じていた静電気吸引力を瞬時に無くすか、または小さくすることができる。
画像

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研究分野
  • 静電機器
展開可能なシーズ 高抵抗体や誘電体材料を対象物として、静電気力を用いて浮上させハンドリングする装置に関しては、ハンドリング対象物の表面の残留電荷に起因する不安定浮上が課題となっている。その不安定浮上因子を排除したハンドリング装置を提供する。
静電吸引力を弱める(浮上ギャップを拡大する)方法として、従来の印加電圧を遮断する方法に代え、逆極性の電圧を印加することにした。この電圧はハンドリング対象物の表面の残留電荷と同じ極性を持つため、残留静電気力を瞬時に無くし或いは最小にする。また、ハンドリング対象物の表面抵抗によっては静電気反発力を起こす。残留静電気吸引力を無くすことによって、ハンドリング対象物の安定浮上を実現することができる。
用途利用分野 静電浮上ハンドリング装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 樋口 俊郎, 傅 寶▲莱▼, . 静電気力を用いたハンドリング対象物のハンドリング装置. 特開2001-057789. 2001-02-27
  • H02N  13/00     
  • H01L  21/683    

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