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結像光学装置

シーズコード S090002450
掲載日 2010年3月26日
研究者
  • 生田 孝
  • 志水 隆一
技術名称 結像光学装置
技術概要 波動性ビームを使用した結像光学系と、結像光学系の焦点位置に配置された、画像蓄積特性を有する検知器アレイと、適切な範囲で結像光学系の焦点はずれ量を高速に制御する焦点はずれ制御機構と、検知器アレイから得られた画像情報に対する中・高域空間周波数強調フィルタリング機構とを備えている。結像光学系の焦点移動平均を通して、観察される干渉縞に寄与する2平面波の進行方向が制限され、ここで、2平面波の進行方向と光軸のなす角度の差Δθは、焦点はずれ量の変化幅をΔL、波長をλとすれば、Δθ・ΔL=2λ/sin(θ)になり、焦点はずれ量の中心値をΔf、対物レンズの主球面収差係数をCsとおく時、波面収差関数γ(θ)のΔθによる最大変化量Δγは、Δγ=4π(Cs・sin θ-Δf)/ΔLであるレイリーの4分の1波長則となるようにし、焦点はずれ量の中心位置(Δf)と焦点はずれ量の変化幅(ΔL)とに基づいて結像光学系の焦点はずれ量(焦点位置)を制御し、結像光学系の球面収差と色収差の影響除去を行う。
画像

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S090002450_01SUM.gif
研究分野
  • 光学顕微鏡,望遠鏡
  • 図形・画像処理一般
  • 光の像形成
展開可能なシーズ 球面収差や色収差を含んだ光学系の下で、両収差の影響を除去した高分解能観察が可能な結像光学装置を提供する。すなわち、インコヒーレント照明型結像、もしくは部分的インコヒーレント照明型結像を行う結像光学装置について、ホイスラー式の焦点深度拡大法を利用した無収差結像法を実用的に実現し、積極的に球面収差と色収差の影響を除去した高分解能化を実現可能な結像光学装置を提供する。
結像光学系の球面収差の影響除去(無収差結像)を行うことができる。また、結像光学系の色収差を無収差結像法での焦点移動平均の過程に取りこむことが可能であり、実質的に色収差を除去、無視できる。
用途利用分野 結像光学装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人科学技術振興機構, . 生田 孝, 志水 隆一, . 結像光学装置. 特開2003-131138. 2003-05-08
  • G02B  21/00     
  • G02B  21/02     
  • G02B  21/08     
  • G02B  27/58     
  • H01J  37/153    
  • H01J  37/22     

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