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クリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法

シーズコード S090002601
掲載日 2010年3月26日
研究者
  • 鈴木 和年
  • 吉田 兵吾
  • 佐藤 雅郎
技術名称 クリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法
技術概要 この技術は、クリーンルーム相互間で気送管を用いて気送搬送物を受信するクリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法において、クリーンルーム内の空気を乱すことなく、気送管からの発塵を防止し、安定に気送搬送物を搬送するように改良された搬送システム及びその搬送方法である。すなわち、送信側クリーンルームから受信側クリーンルームに気送管が延長されこの気送管の中に気送搬送物を投入して受信側クリーンルームで気送搬送物を受信するクリーンルーム間の搬送システムであり、気送管に配設され気送搬送物の送信開始と受信終了の際に気送管の内部の空気を低風量で吸引する排風手段を具備するようにしたものである。
画像

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S090002601_01SUM.gif
研究分野
  • 空気浄化
  • コンベヤ
展開可能なシーズ クリーンルーム相互間で気送管を用いて、クリーンルーム内の空気を乱すことなく、気送搬送物を受信するクリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法を提供する。
気送管内にある微粒子は、気送管内から送信側クリーンルーム或いは受信側クリーンルームに発塵するのを防止することができる。クリーンルーム内の清浄度を良好に維持することができる。気送搬送物が搬送物取出口に緩やかに到着させることができる。気送搬送物が衝撃により破損する危険を大幅に軽減させることができる。クリーンルーム内の空気流に乱れが生じるのを防ぐことができる。
用途利用分野 クリーンルーム間の搬送システム
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, . 鈴木 和年, 吉田 兵吾, 佐藤 雅郎, . クリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法. 特開2001-199543. 2001-07-24
  • B65G  51/08     
  • B65G  51/18     
  • B65G  51/20     

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