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クリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法

シーズコード S090002602
掲載日 2010年3月26日
研究者
  • 鈴木 和年
  • 吉田 兵吾
  • 伊藤 信夫
  • 佐藤 雅郎
技術名称 クリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法
技術概要 送信側クリーンルーム(10)から受信側クリーンルーム(20)に気送管(18)が延長され気送管(18)の中に気送搬送物(30)を投入して受信側クリーンルーム(20)で気送搬送物(30)を受信するクリーンルーム間の搬送システムであり、受信側クリーンルーム(20)内に配設され気密を保持して気送搬送物(30)を受信する上昇受信器(21)と、上昇受信器(21)の後の気送管(31)に配設され気送搬送物(30)の送信開始と受信の際に気送管(31)の内部の空気を低風量で吸引する排風手段とを具備するようにしたものである。
画像

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研究分野
  • 空気浄化
  • コンベヤ
展開可能なシーズ クリーンルーム相互間で気送管を用いて気送搬送物を上昇受信器で受信するクリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法において、クリーンルーム内の空気を乱すことなく、安定で安全に気送搬送物を搬送するように改良された搬送システム及びその搬送方法を提供する。
気送管からクリーンルームへの発塵を防止することができる。受信側クリーンルームの内部の空気の清浄度を良好に維持することができる。受信器全体の小形化が達成できる。気送搬送物の受信から収納までの一連の動作の信頼性の向上が図れる。気送搬送物に係わる時間データ、性能データの管理等が容易になる。そのほか多くの効果が期待できる。
用途利用分野 クリーンルーム間の搬送システム
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, . 鈴木 和年, 吉田 兵吾, 伊藤 信夫, 佐藤 雅郎, . クリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法. 特開2001-199542. 2001-07-24
  • B65G  51/04     
  • B65G  51/08     
  • B65G  51/32     

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