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時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法、その製造方法によって得られる微小突起物、その微小突起物を備える触媒用担体および接触搬送装置 新技術説明会

シーズコード S090002709
掲載日 2010年3月26日
研究者
  • 中佐 啓治郎
  • 王 栄光
  • 加藤 昌彦
  • 張 清廉
技術名称 時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法、その製造方法によって得られる微小突起物、その微小突起物を備える触媒用担体および接触搬送装置 新技術説明会
技術概要 鋼、アルミニウム合金、チタン合金、銅合金等の時効性金属材料を固溶化熱処理(析出成分を素地中に溶解させる)する。次に、固溶化熱処理材料の表面を研磨、脱脂洗浄して、マグネトロンスパッタ等のスパッタ装置にて、底面を強制冷却しながら、冷却面と相対する表面をスパッタエッチングする。スパッタに用いる気体は、通常使用されるアルゴンガスを、またスパッタ圧力もスパッタエッチングで通常使用される圧力で可能である。試験片の冷却が不十分だとエッチング時間の増加とともに、素地が優先的にエッチングされ、析出炭化物が脱落するが、充分な冷却ではスパッタエッチング表面から内部に向かう温度勾配は大きく、表面近傍でのみ炭化物が析出する。エッチングは材料表面近傍の温度が析出成分を含む化合物の析出温度域となるようにし、スパッタエッチング速度は試験片の析出成分を含む化合物の深さ方法の成長速度を超えない範囲にする必要がある。材料、冷却速度とエッチング速度の調整により、大きさ、形状、密度分布を調整した微小突起物が形成する。又、微小突起物の先端をガラス板に繰り返し衝突させることで、先端部を平坦化することもできる。
研究分野
  • 表面処理
展開可能なシーズ 時効性金属材料表面へ、大きさを制御可能とした微小突起物を簡単に製造する方法、と小突起物を備える触媒用担体および接触搬送装置を提供する。
複雑な工程を経ることなく、素地と一体化して容易に剥離することはない微小突起物をつけることができる。微小突起物は硬度が高く耐磨耗性があり、大きさ、形状または分布密度を制御できる。金属材料の表面積を広くでき、接触搬送装置以外に触媒担体への適用も可能となる。又、微小突起物の突起の先端部分を平坦にすることもできる。
用途利用分野 グリップローラ、接触搬送装置、マイクロマシン用歯車、触媒担体
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人広島大学, . 中佐 啓治郎, 王 栄光, 加藤 昌彦, 張 清廉, . 時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法、その製造方法によって得られる微小突起物、その微小突起物を備える触媒用担体および接触搬送装置. 特開2006-063390. 2006-03-09
  • C23F   4/00     

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