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ピーク検出画像処理方法、プログラム及び装置 新技術説明会

シーズコード S090002911
掲載日 2010年3月26日
研究者
  • 大図 章
技術名称 ピーク検出画像処理方法、プログラム及び装置 新技術説明会
技術概要 このピーク検出画像処理方法は、任意の物理量の空間における分布に対応する濃淡画像を複数の小区画に分割した各区画が有する濃淡を表す濃淡データを各区画の位置を表す位置データと関連付けて含む濃淡画像データ群の中の1つの区画の濃淡データ値をこの1つの区画の周囲を囲む全ての周囲区画の各濃淡データ値と個別に比較演算するステップを備える。さらに、1つの区画のデータ値が周囲区画の全てのデータ値より大きいか又は等しい場合、又は1つの区画のデータ値が周囲区画の全てのデータ値より小さいか又は等しい場合、あるいはこれら両方の場合、1つの区画のデータ値をピーク値と決定し、且つ1つの区画の位置をピーク位置と決定するステップを備える。さらに、ピーク値として決定されたデータ値を有する複数の区画同士が互いに隣接又は隣り合う場合任意の選択手法でもって複数の区画のうちの1つの区画を選択するステップを備える。このピーク検出画像処理方法はさらに、ピーク決定ステップにより決定されたピーク値の数を計数するステップを備える。この濃淡像は、例えば、撮像管又はC C D 等の光画像検出器により光学的に取得される。
画像

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S090002911_01SUM.gif
研究分野
  • 図形・画像処理一般
展開可能なシーズ 任意の物理量の空間における分布に対応する濃淡画像における濃淡データのピーク値及びその位置を簡単に且つ短時間で検出する装置を提供する。
粉または細かな粒子が多数集まった粉体、粒子状物質等の計測画像から、粉、粒子の数量、または画像中の粒子の輝度から粉、粒子の大きさ、粒子径、及び粒子の位置を検出できる。大気中または液中に浮遊する微粒子等を観測した斑点濃淡画像から微粒子の数、粒径及び画像中での位置、さらに半導体シリコンウェハーのように平板上の凹凸検査やそれらに付着する微小な粉塵等のゴミも検出できる。
用途利用分野 粉体画像計測装置、半導体ウェハ検査装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人 日本原子力研究開発機構, . 大図 章, . ピーク検出画像処理方法、プログラム及び装置. 特開2005-221241. 2005-08-18
  • G01B  11/00     
  • G01N  15/00     
  • G06T   1/00     

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