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高感度ガス分析装置 新技術説明会

シーズコード S090002924
掲載日 2010年3月26日
研究者
  • 阿部 哲也
  • 廣木 成治
  • 丹澤 貞光
  • 秦野 歳久
技術名称 高感度ガス分析装置 新技術説明会
技術概要 この高感度ガス分析装置は、大気等に含まれる微量ガスを繰返し高感度で定量することができる質量分析法によるガス分析装置であって、(1)被測定ガスリザーバと、小型の開閉弁付小容器と,この小容器に小型開閉弁を介して直に接続される比較的大容積のバッファタンクと、マニホールドと、ターボ分子ポンプとダイヤフラムポンプからなる真空排気装置と、それらを結ぶ配管とからなるガス流路と、(2)ターボ分子ポンプとダイヤフラムポンプからなる真空排気装置が付いた四極子型質量分析計と、(3)ガス流路の中間から被測定ガスの一部を四極子型質量分析計のイオン源に流入させるためのオリフィスから構成され、測定値の精度(再現性)向上を図るとともに、水蒸気等の吸着性ガスの影響を最小限に抑えて最高ppmオーダーまでの微量ガスを測定できる。小型の開閉弁付小容器を用いて一定量の被測定ガスをパルス的に導入できるようにしたことにより、ガスの流れの再現性が確保され,四極子型質量分析計の管壁や電極が被測定ガスに触れる度合いが数桁少なくなり、対象ガスに対する検出感度の低下を防ぎ、測定の迅速化ができる。
画像

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S090002924_01SUM.gif
研究分野
  • 分析機器
  • 電子源,イオン源
  • 質量分析
展開可能なシーズ 質量分析法によるガス分析装置により、大気中の特定ガス,自動車排気ガス中の有害ガス、呼気中の特定ガス、構造材に含まれる特定ガス等の微量ガスを最高ppmオーダーの高い感度で測定する装置を提供する。
被測定ガス導入部に小型の開閉弁付小容器と,該小容器に前記小型開閉弁を介して直に接続される比較的大容積のバッファタンクを設けて被測定ガスをパルス的に導入できるようにするとともに,オリフィスから被測定ガスの一部を四極子型質量分析計のイオン源に流入させるようにすることにより、大気中の特定ガス等の微量ガスを最高ppmオーダーの高い感度で再現性よく測定できる。
用途利用分野 微量ガス質量分析装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 独立行政法人 日本原子力研究開発機構, . 阿部 哲也, 廣木 成治, 丹澤 貞光, 秦野 歳久, . 高感度ガス分析装置. 特開2006-053003. 2006-02-23
  • G01N  27/62     
  • H01J  49/04     
  • H01J  49/42     

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