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コンビナトリアル試料の熱電特性測定方法及びその装置

シーズコード S090003295
掲載日 2010年3月26日
研究者
  • 鯉沼 秀臣
  • 川路 均
  • 伊高 健治
  • 南 秀樹
技術名称 コンビナトリアル試料の熱電特性測定方法及びその装置
技術概要 多数の試料を同時に測定する、コンビナトリアル熱電特性測定システムである。金属マスクを用いてパターンニングされた試料10と、この試料10に微小な温度勾配をかける1対の試料台11,12と、前記温度勾配を測定する熱電対14と、前記試料10に接触するプローブピンアレイ15から成るシステムである。測定試料10に、ヒーター13で微小な温度勾配(例えば、試料台11より試料台12の温度を3℃高くする)をかけ、さらにプローブピンアレイ15への接触により、コンビナトリアル測定試料10から多数の電気信号を取り出す。例えば、一列に4本のプローブピン15a,15b,15c,15dを立てて、プローブピン15aと15d間に電流を流して、プローブピン15bと15cとで、その電位差を測定して測定試料のコンビナトリアル熱電特性測定を同じ測定条件で同時に測定できる。測定された2次元的コンビナトリアル試料は試料台11,12から取り外して、新たな2次元的コンビナトリアル試料を載置して同じ条件で測定を行える。
画像

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研究分野
  • 物理分析
展開可能なシーズ 測定試料の評価を迅速に進めるとともに、熱電材料の探索、半導体のキャリア制御等において有効なコンビナトリアル試料の熱電特性測定方法及びその装置を提供する。
コンビナトリアル合成された薄膜の熱起電力と電気特性を同時に測定することが可能となるため、高速な熱電特性評価を行うことができる。よって、この装置は、熱電材料探索において重要な要素技術である。また半導体におけるキャリアドープにおいても、導入されたキャリアの荷電の正負を容易に評価することもできるなど、幅広く応用ができる。
用途利用分野 熱電特性装置、キャリア荷電評価装置、オンライン熱電効果測定装置、コンビナトリアル熱電材料探索装置、熱起電力と電気特性同時評価装置、ドーピング評価装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 鯉沼 秀臣, 川路 均, 伊高 健治, 南 秀樹, . コンビナトリアル試料の熱電特性測定方法及びその装置. 特開2002-277422. 2002-09-25
  • G01N 27/00      
  • H01L 21/66      
  • G01N  37/00     

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