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電界効果トランジスタ

シーズコード S090003296
掲載日 2010年3月26日
研究者
  • 川原田 洋
技術名称 電界効果トランジスタ
技術概要 電界効果トランジスタにおいて、ソース電極とドレイン電極間にダイヤモンドの水素終端表面が露出したチャネルと、このチャネルの露出したダイヤモンドの水素終端表面に接触する負イオン(Cl- )を含むKCl溶液からなるゲートとを備え、前記KCl溶液の負イオン(Cl- )の濃度を検出する、液体電解質ゲートダイヤモンドFETである。以下例を示す。液体電解質FET(pチャネルFET)は、Si基板上の多マイクロ波プラズマCVDにより作製した結晶ダイヤモンド膜1、チャネル(多結晶ダイヤモンド終端表面:p型表面伝導層)2、ソース電極(Au電極)3、ゲート(液体電解質:例えばKCl水溶液)4、ゲート電極5、ドレイン電極(Au電極)6、保護膜7、液槽(絶縁体)8から成る。金属マスクを用いソース・ドレイン電極をAuで真空蒸着で作製する。ゲートおよび金属電極部分を除いた領域をAr+ イオン照射により素子分離し、チャネル部分以外をエポキシで保護し、完成する。作製されたFETはチャネルが剥き出しである。このFETを、電解質水溶液に直接浸けて、ソース接地回路で静特性を測定する。
画像

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S090003296_01SUM.gif
研究分野
  • トランジスタ
展開可能なシーズ pH1-pH14の溶液の負イオンに高感度で感応することができる電界効果トランジスタを提供する。
電界効果トランジスタがpH1-pH14溶液の中の塩素等の負イオンに対する高感度イオンセンサーとしてその実用的効果は著大である。特に、KCl、NaCl、HClのCl- の高感度イオンセンサーとして期待される。
用途利用分野 溶液中の負イオンセンサ、溶液中塩素センサ、液体電解質用電界効果トランジスタ、高感度イオンセンサ、携帯型イオンセンサ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人科学技術振興機構, . 川原田 洋, . 電界効果トランジスタ. 特開2002-286692. 2002-10-03
  • G01N  27/414    
  • G01N  27/416    
  • H01L  29/80     

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