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単色矩形波格子を用いる形状計測方法及び形状計測装置

シーズコード S090003413
掲載日 2010年3月26日
研究者
  • 森本 吉春
  • 藤垣 元治
  • 米山 聡
  • 岩井 一能
技術名称 単色矩形波格子を用いる形状計測方法及び形状計測装置
技術概要 物体の高さ分布を得る形状測定装置は、各々の白黒比が異なり、互いのピッチ比が、mとnを3以上の互いに素である整数として、m:nである2つの異なる矩形波成分を合成した単色矩形波格子4と、この単色矩形波格子を物体1に投影する投影手段(格子投影プロジェクタ2)と、単色矩形波格子を移動する格子移動手段(格子移動機構5)と、物体を撮影する撮影手段(CCDカメラ3)と、を具える。格子移動手段を、撮影手段の撮影周期において、単色矩形波格子をこの単色矩形波格子全体の周期の1/(m×n)だけ移動するように構成し、撮影手段が格子移動手段によって単色矩形波格子を移動しながら撮影手段によって連続してm×n枚の画像を撮影する。形状測定装置装置は、m×n枚の画像のうちm枚おきに抜き出したn枚の画像から周期がm/(m×n)の矩形波成分に関する位相分布を求め、n枚おきに抜き出したm枚の画像から周期がm/(m×n)の矩形波成分に関する位相分布を求める手段と、双方の矩形波成分に関する位相分布から物体1の高さ分布に対応する連続化された位相分布を得る手段と、をさらに具える。他に形状測定方法の発明有り。
画像

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S090003413_01SUM.gif
研究分野
  • 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
  • 光学情報処理
展開可能なシーズ 特殊なフィルタとCCDカメラを必要とせず、完全に色分離を行うことができ、さらにフィルムで格子を作成する場合、精度の良い正弦波格子を作ることが可能な形状測定方法及びこのような方法を実行する装置を提供する。
高分解能、又は高さ方向に広範囲に形状計測が可能になり、単色格子を用いているため、通常のCCDカメラで解析することができる。また、色分離を行う必要がないため、特殊な手段や装置を必要とせずに位相接続を行なうことができる。また、過去に撮影されたm×n枚の画像から各矩形波成分の位相値をそれぞれ求めて、1フレーム撮影毎に結果が得られる。さらに、積分型位相シフト法を用いているため、高速度カメラへの適用が可能となる。
用途利用分野 形状計測装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人和歌山大学, . 森本 吉春, 藤垣 元治, 米山 聡, 岩井 一能, . 単色矩形波格子を用いる形状計測方法及び形状計測装置. 特開2003-121124. 2003-04-23
  • G01B  11/25     

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