TOP > 技術シーズ検索 > 静電容量型センサとその製造方法

静電容量型センサとその製造方法

シーズコード S090003426
掲載日 2010年3月26日
研究者
  • 牧平 憲治
  • 青柳 誠司
技術名称 静電容量型センサとその製造方法
技術概要 静電容量型センサは、対向する2つの主面を有し、その一方の面に第1導電型のソース領域5xと第1導電型のドレイン領域4xが所定の間隔で設けられ、ソース領域5xとドレイン領域4xの間に位置する第2導電型の領域をチャンネル領域6xとする基板と、チャンネル領域6xに対向するゲート電極板1xと、を備える。ゲート電極板1xは、チャンネル領域6xの表面に平行な一方向に移動可能に設けられており、チャンネル領域6xとゲート電極板1xとの対向面積の変化に基づいてゲート電極板1xに加えられた力を検出する(第1の静電容量型センサ)。また、静電容量型センサは、第1の静電容量型センサの基板と、チャンネル領域に所定の間隔を隔てて対向するゲート電極板と、を備え、チャンネル領域とゲート電極板の間隔の変化に基づいてゲート電極板に加えられた力を検出する(第2の静電容量型センサ)。さらに、異なる方向に加えられた力を検出することができる第1の静電容量型センサを2つ備えていること、又は第1の静電容量型センサと第2の静電容量型センサとを備える。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

S090003426_01SUM.gif
研究分野
  • LCR部品
  • 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器
展開可能なシーズ 構造が簡単でかつ製造が容易で、高い感度で、2以上の方向の圧力や加速度を検出することができる静電容量型センサを提供する。
ゲート電極のゲート長を短くすることにより、構造が簡単でかつ製造が容易となる。また、異なる方向に加えられた力の検出が可能な静電容量型センサを2つ備えるか、又はこの静電容量型センサとチャンネル領域に所定の間隔を隔てて対向するゲート電極板を備えた静電容量型センサとを備えることにより、2以上の方向の圧力や加速度を検出することができる。
用途利用分野 静電容量型センサ、圧力センサ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人 関西大学, 株式会社M.T.C, . 牧平 憲治, 青柳 誠司, . 静電容量型センサとその製造方法. 特開2007-071846. 2007-03-22
  • G01L   1/14     
  • G01P  15/125    
  • H01L  29/84     
  • G01P  15/08     

PAGE TOP