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電気特性測定装置

シーズコード S090003696
掲載日 2010年3月30日
研究者
  • 鮫島 俊之
技術名称 電気特性測定装置
技術概要 交流電圧電流源30からインダクタンス20を介して電気的特性を測定するための半導体試料10に交流電圧を供給する。そして、電気計測器40によって、インダクタンス20の両端の電位を計測する。交流電圧電流源30の周波数は、インダクタンス20(L)と半導体試料10の表面に設けられる絶縁膜11のキャパシタンスCとのLC共振条件を満足させるように設定される。これにより、半導体試料10の表面に接着される絶縁膜11を取り除くことなく、半導体試料10の電気的特性を測定することが可能となる。
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S090003696_01SUM.gif
研究分野
  • 電流,電圧,電荷の計測法・機器
  • 薄膜一般
  • 絶縁材料
展開可能なシーズ 半導体試料及び半導体と絶縁膜界面の電気特性を正確に測定することができる半導体の電気特性測定装置を提供する。
半導体におけるキャリヤ伝導や表面状態の電気的特性を正確に評価することにより、半導体材料の特性を知り、半導体デバイスを歩留り良く製造することができる。
用途利用分野 半導体測定装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人東京農工大学, . 鮫島 俊之, . 電気特性測定装置. 特開2007-115769. 2007-05-10
  • H01L  21/66     
  • G01R  31/26     

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