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熱風ヒータ

シーズコード S090004319
掲載日 2010年3月30日
研究者
  • 鈴木 和年
  • 鈴木 寿
技術名称 熱風ヒータ
技術概要 本ヒータは、内部にある発熱体91の加熱部が石英被覆ガラス92で被覆されたヒータ9、ステンレス製の真空断熱二重構造のヒータ外筒管61、気体導入口1、断熱気体浴2から成る。ヒータ外筒管と石英被覆管8と石英被覆ガラスとの組み合わせにより発塵防止、熱効率の向上を図っている。図示では、断熱気体浴とヒータ外筒管は一体であるが、個別に制作し接続して使用することも可能である。気体浴内部には反応容器などの熱交換部が挿入され使用される。熱媒体となる気体は、発熱体の上流側の気体導入口1より導入され、発熱体の加熱部で加熱されながら石英被覆ガラスと石英被覆管の隙間を通過し、気体浴に達し、気体浴内で反応容器などの熱交換部を加熱する。この際、真空断熱外筒管及び気体浴の周壁は真空断熱二重構造となっているため、熱遮断効率も高く周囲を加熱することも少ない。また、石英被覆管は気体浴部まで延設されている。温度センサで温度を測りながら、ヒータで加熱された熱風を吹き付ける、あるいは濾過された液体窒素などを冷却用継ぎ手4から流入させ吹き付けることにより、極低温から高温まで対象物の迅速でクリーンな温度制御が可能となる。
画像

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研究分野
  • 加熱
展開可能なシーズ 従来、小型の熱風ヒータにおいて断熱構造や発塵防止機能を併せ持つヒータはなかった。優れた断熱構造を有し、熱効率のよい、クリーンルームなど発塵性の極めて低いクリーンな加熱手段が求められる環境での使用に適した小型の熱風ヒータを提供する。さらに冷媒取り入れ口や温度センサ、覗き窓を有し、かつ断熱構造の気体浴と組み合わせることにより、効率的で迅速な加熱制御が可能な小型の熱風ヒータを提供する。
外筒管と気体浴周壁が真空断熱二重構造であることから熱効率のよい安全な小型熱風ヒータである。また、発熱体を石英で覆い、外筒管も気体流路部が石英で覆われているので、発塵性の極めて低いクリーンな加熱手段として提供しうる。さらに冷媒取り入れ口や、覗き窓を有し、かつ真空断熱二重構造の気体浴と組み合わせることにより、効率的で迅速な加熱冷却および温度制御を可能とする小型の熱風ヒータである。
用途利用分野 熱風ヒータ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, . 鈴木 和年, 鈴木 寿, . 熱風ヒータ. 特開2005-140421. 2005-06-02
  • F24H   3/04     

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