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パルス放電による準安定原子線と紫外線の発生

シーズコード S990003169
掲載日 2000年12月28日
研究者
  • 山内 泰
研究者所属機関
  • 独立行政法人 物質・材料研究機構
研究機関
  • 独立行政法人 物質・材料研究機構
技術名称 パルス放電による準安定原子線と紫外線の発生
技術概要 準安定原子線や紫外線を物質表面に照射することにより、表面上や表面下の電子状態を計測することができるが、準安定原子線や紫外線は同時に発生するため、各々の区別がつかない。パルス化により速度の遅い準安定原子線(1000m/秒)と紫外線(光速)を容易に区別できるようになる。本技術は、パルス原子励起線やパルス紫外光を高強度で得ることができる装置に関するものである。この装置を用いてパルス原子励起線やパルス紫外光を発生させるには、絶縁性のノズル2の噴出口2aから超音速でガスを噴出させながら、絶縁性ノズル中の電極5とスキマー8との間で繰り返しパルス放電を起こす。絶縁性ノズルから噴出する原子はパルス放電により励起され、パルス励起原子線と紫外線が生成する。これらはスキマーの開口部8aを通過し、ビームとなって物質表面14に照射される。このように、放電をパルス化することによって、機械的チョッパーを必要としない装置にすることができた。
画像

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従来技術、競合技術の概要 ガス放電により準安定原子線および紫外線を発生させることは従来より行われてきたが、連続放電による連続ビームを発生させるものであった。パルス化には機械式チョッパーが用いられてきたが、機械式チョッパーを備えることで装置が複雑で大型化することになり、また励起原子線源と試料表面までの距離が長くなるため、励起原子線の強度が弱くなる欠点があった。
研究分野
  • 原子ビーム,分子ビーム
展開可能なシーズ パルス化した準安定原子線と紫外線の発生装置
用途利用分野 物質表面や表面内部数層の電子状態の計測
半導体等の表面汚染の除去
関連発表論文 (1)山内泰, 倉橋光紀, 岸本直樹. パルス放電による準安定ヘリウム原子線の生成. 粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム. vol.8,1997,p.55‐58.
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人物質・材料研究機構, . 山内 泰, 倉橋 光紀, 岸本 直樹, . パルス励起原子線とパルス紫外光の生成方法およびその装置. 特開平11-211898. 1999-08-06
  • G21K   5/00     
  • H01J  27/08     
  • H05H   3/02     

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