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高周波放電装置及び高周波処理装置

シーズコード S100000253
掲載日 2010年9月17日
研究者
  • 菅井 秀郎
  • 鈴木 啓之
  • 戸野谷 純一
技術名称 高周波放電装置及び高周波処理装置
技術概要 1つのアンテナ8の接地側、又は複数のアンテナ8間に夫々介装されたフローティングコンデンサ10を備える。用いられるフローティングコンデンサ10は可変容量であり、この容量を変化させてアンテナ8上での高周波電圧分布を変化させ、アンテナ8とプラズマPとの静電的結合を制御する。今、フローティングコンデンサの容量をC、高周波の周波数をω、回路中のインダクタンスをLとすると、C=2/ωLの関係を満たす。即ち、用いられる高周波処理装置において、真空容器1の上部にエッチング用の反応性ガスやCVD用の原料ガス等のプロセスガス2を供給するための供給管3を接続すると共に、その下部に排気管4を接続する。このアンテナ8の一端に、高周波電力用の電源9を接続し、かつ、他端側の接地との間にフローティングコンデンサ10を接続する。このフローティングコンデンサ10は、可変容量であり、その容量Cを変化させてアンテナ8上での高周波電圧分布を変化させ、このアンテナ8とプラズマPとの静電的結合を制御する。
画像

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研究分野
  • 放電装置
  • 気体放電
  • プラズマ生成・加熱
展開可能なシーズ アンテナとプラズマとの静電的結合を最適に制御できる高周波放電装置を提供する。
特定のコンデンサの容量を変化させてアンテナ上での高周波電圧分布を変化させ、アンテナとプラズマとの静電的結合を制御することにより、プラズマ放電の安定化とアンテナによるスパッタの抑制とを両立させることができる。
用途利用分野 プラズマ生成用高周波放電装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 株式会社東芝, 国立大学法人名古屋大学, . 菅井 秀郎, 鈴木 啓之, 戸野谷 純一, . 高周波放電装置及び高周波処理装置. 特開平11-233289. 1999-08-27
  • H05H   1/24     
  • C23C  16/50     
  • H01L  21/205    
  • H01L  21/302    
  • H05H   1/46     

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