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電子線発生装置

シーズコード S100000483
掲載日 2010年9月17日
研究者
  • 森田 慎三
  • 小川 慎司
技術名称 電子線発生装置
技術概要 電子線発生用の第1の容器11とプロセス用の第2の容器12とを連結し、これらの間に100ライン/インチの銅メッシュ13を配置する。第1の容器11の内部にタングステン製のフィラメント14と冷陰極15を配置し、フィラメント14には加熱電源16を接続し、フィラメントを加熱して熱電子を発生させる熱電子放出陰極を構成する。第1の容器11の内部には、更に、電子線が透過するリング状の陽極17を配置する。第1の容器11を真空ポンプ18に連結し、容器内を0.1~1000mTorrのアルゴンガスで満たし、第2の容器12にはアルゴンガスを充填したガスタンク20を連結する。このようにして電子線発生装置を構成する。かかる電子線発生装置において、アルゴンガスの放電で生成される正イオンによって熱電子放出陰極の電子空間電荷を中和して放出電子電流を増大させると共に、陽極降下が発生する領域に放出電子電流を加速する大きな加速電界を形成する。
画像

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研究分野
  • 電子源,イオン源
  • 電子ビーム,イオンビーム
  • 熱電子放出,電界放出
展開可能なシーズ 大きな電子電流を有すると共に、高い加速エネルギーを有する電子線を効率よく発生させる電子線発生装置を提供する。
容器内を特定の圧力の希薄気体で満たし、この希薄気体の放電で生成される正イオンによって熱電子放出陰極の電子空間電荷を中和して放出電子電流を増大させると共に、陽極降下が発生する領域に放出電子電流を加速する大きな加速電界を形成することにより、大きな電子放出電流を有すると共に、高い加速エネルギーを有する電子線を効率良く発生させることができる。
用途利用分野 熱電子放出陰管
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人名古屋大学, . 森田 慎三, 小川 慎司, . 電子線発生装置. 特開2000-011933. 2000-01-14
  • H01J  37/06     
  • H01J  33/00     
  • H01J  37/301    

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