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走査プローブ顕微鏡の探針位置固定方法

シーズコード S100001264
掲載日 2010年9月17日
研究者
  • 潮田 資勝
  • 上原 洋一
  • 伊藤 啓司
技術名称 走査プローブ顕微鏡の探針位置固定方法
技術概要 走査トンネル顕微鏡(STM)本体1は、探針位置制御用圧電素子11と、探針12と、試料ホルダ13とを具える。ここで、走査プローブ顕微鏡の探針位置固定に際して、試料の任意の領域の基準顕微鏡像を得、探針12の微動機構に与える駆動信号を制御して探針12を基準顕微鏡像に含まれる所望の位置に移動し、この位置を含むサブ基準顕微鏡像を得る。次いで、基準顕微鏡像におけるサブ基準顕微鏡像の位置を算出し、探針12を再び位置に移動した後、所定の時間間隔だけ駆動信号を保持する。次いで、その時間間隔の経過後、他の顕微鏡像を得、基準顕微鏡像における他の顕微鏡像の位置を算出する。そして、算出されたサブ基準顕微鏡像および他の顕微鏡像の位置の比較に基づいて時間間隔中に生じたドリフト量を計算し、そのドリフト量を補償するように駆動信号を制御し、探針12をその位置に移動する。さらに、サブ基準顕微鏡像の位置を算出した後のステップを繰り返す。
画像

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研究分野
  • 磁性体測定技術・装置
展開可能なシーズ 走査プローブ顕微鏡の探針を試料の任意の位置に、任意の時間間隔だけ固定(ロック)するための方法を提供する。
走査プローブ顕微鏡の探針を試料の任意の位置に、任意の時間間隔だけ固定(ロック)するための方法が、特殊な回路および機械を付加することなく実現される。
用途利用分野 走査トンネル顕微鏡、探針ドリフト、制御コンピュータ、プログラム
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東北大学, . 潮田 資勝, 上原 洋一, 伊藤 啓司, . 走査プローブ顕微鏡の探針位置固定方法. 特開平11-281655. 1999-10-15
  • G01N  13/12     
  • G01B   7/34     

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