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不等厚断面形状部材を曲げ非球面を形成する方法

シーズコード S100001277
掲載日 2010年9月17日
研究者
  • 鈴木 章二
技術名称 不等厚断面形状部材を曲げ非球面を形成する方法
技術概要 幅が一定で長手方向の厚さが変化するが部材固定部分は一定厚とした不等厚断面形状部材7を形成し、部材固定部分を固定し、不等厚断面形状部材7の表面が所定の曲面形状になるように不等厚断面形状部材7を湾曲させる。この場合、所望の反射鏡形状に対する所定の関数h(x)が求められた後、この関数h(x)に従って反射鏡を形成する材料基板を加工する。具体的には、材料基板のうち反射面となる片面5を平面に加工し、その裏面6を切削して反射鏡部材である不等厚断面形状部材7の厚さhが位置xにより変化し所望の値になるように加工する。このようにして不等厚断面の反射鏡部材が形成される。また、反射鏡として使用する場合は、平面5の方を精度よく研磨し鏡面とし、傾斜をつけた裏面6の方から加圧点8を所定の力により加圧して所望の曲面9を得ることができる。このようにして、不等厚断面の基板を曲げ、1000mmを超える非球面鏡を形成する。
画像

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研究分野
  • 光デバイス一般
展開可能なシーズ 特に、収差の小さい斜入射反射鏡を作るため、簡単な機構で材料を曲げ、楕円面や放物面を形成する方法を提供する。
不等厚断面の基板を曲げ、所定の非球面鏡を形成することで、切削研磨による方法より簡単である。また、基板表面の鏡面になる面の研磨は基本的には平面鏡を研磨する場合と同じなので、表面精度は切削研磨の場合より格段とよくなる。さらに、表面精度は斜入射反射鏡では散乱光の混入に影響するが、表面精度の良い鏡では散乱光をより少なくできる。
用途利用分野 放射光科学、長大鏡、応用光学、弾性体工学、研磨技術
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東北大学, . 鈴木 章二, . 不等厚断面形状部材を曲げ非球面を形成する方法. 特開2000-111719. 2000-04-21
  • G02B   5/10     
  • B23P  13/00     

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