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微小領域熱物性測定装置

シーズコード S100001278
掲載日 2010年9月17日
研究者
  • 竹歳 尚之
  • 馬場 哲也
  • 羽鳥 仁人
  • 大槻 哲也
技術名称 微小領域熱物性測定装置
技術概要 顕微鏡光学系4の光軸上には第1ハーフミラー12と第2ハーフミラー13とが配置されている。ここで、第2ハーフミラー13で反射したレーザ光はバンドパスフィルタ15により加熱用レーザビーム5の反射光を遮断し、測温用レーザビーム6の反射光のみを通過させて光ディテクタ14で検出すまた、第2ハーフミラー13とバンドパスフィルタ15との間には第3ハーフミラー16が、反射光の光軸から外れた位置と反射光の一部をCCDカメラ17の方向に反射させる位置に回動可能に配置されている。そして、CCDカメラ17に入射した両反射光によりモニタ18上に像を映出し、この像を見ながら加熱用レーザビーム5と測温用レーザビーム6の試料表面上のスポットサイズ、位置合わせを行う。この場合、ロックインアンプ19は光ディテクタ14で検出した測温用レーザビームの強度変化に応じた検出信号のうち、加熱用レーザビームの強度変化に比例する参照信号に同期した成分を増幅し、参照信号に対する反射光の位相遅れδを得る。さらに、局所熱浸透率は金属薄膜の熱物性値を既知として、実測した位相遅れδを所定の式に代入して計算する。
画像

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研究分野
  • 光学的測定とその装置一般
  • 光学顕微鏡,望遠鏡
  • 物理分析
展開可能なシーズ 試料表面の微小領域の熱物性を高い空間分解能により測定することができる微小領域熱物性測定装置を提供する。
局所熱浸透率分布が測定可能になるようにサーモリフレクタンス法の測定時間を短縮する。また、試料表面に金属薄膜を形成することで、測定対象を金属のみならず、半導体、セラミックス、炭素材料などに拡大する。更に、表面温度応答を薄膜・基板2層系の解析に基づいて計算することで、金属薄膜下の基板の局所熱浸透率が算出される。
用途利用分野 熱反射法、熱浸透率分布、試料表面、加熱用レーザ、測定用レーザ、反射光
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 株式会社ベテル, 竹歳 尚之, 馬場 哲也, 独立行政法人産業技術総合研究所, . 竹歳 尚之, 馬場 哲也, 羽鳥 仁人, 大槻 哲也, . 微小領域熱物性測定装置. 特開2000-121585. 2000-04-28
  • G01N  25/18     

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