TOP > 技術シーズ検索 > 熱プラズマのエネルギー制御法

熱プラズマのエネルギー制御法

シーズコード S100001430
掲載日 2010年9月17日
研究者
  • 石垣 隆正
  • 羽田 肇
  • 作田 忠裕
技術名称 熱プラズマのエネルギー制御法
技術概要 高周波熱プラズマを発生する際に、プラズマにパルス変調した外部磁界を印加することにより、熱プラズマの特徴をそのままにエネルギーを制御することが可能になる。即ち、周波数500KHz~4MHzの高周波アーク放電により発生する発生圧力250~760Torrの熱プラズマに、外部から矩形パルス変調を加えることにより熱プラズマのエネルギーを制御する。また、外部印加磁界の最大値の継続時間(tmax〔ミリ秒〕)と最小値の継続時間(tmin〔ミリ秒〕)が、式Ⅰ:2tmax+2≦tmin≦4tmax+1(1≦tmax≦4.25)、式Ⅱ:2tmax+2≦tmin≦18(4.25<tmax<10)、式Ⅲ:12≦tmin≦18(10≦tmax)の範囲でパルス変調したプラズマ発生を行なうことにより、連続発生時の最高温度を維持しながら、トータル・エネルギーを減少させることが可能になる。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_1997-161831.gif
研究分野
  • 気体放電
  • プラズマ生成・加熱
展開可能なシーズ 高周波熱プラズマのエネルギーを効率的に制御する方法を提供する。
連続発生時のプラズマ温度を最大値として、プラズマ温度の最小値で約40%、トータル・エネルギーは半分以下にすることができ、このプラズマ発生により、高周波熱プラズマのエネルギーを効率的に使用し、合成物にダメージを与えずに、材料の合成が可能になる。
用途利用分野 超微粒子の合成、非平衡物質の合成、溶射
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人物質・材料研究機構, . 石垣 隆正, 羽田 肇, 作田 忠裕, . 熱プラズマのエネルギー制御法. 特開平10-340795. 1998-12-22
  • H05H   1/24     
  • C23C   4/12     
  • H05H   1/48     

PAGE TOP