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パルス励起原子線とパルス紫外光の生成方法およびその装置

シーズコード S100001432
掲載日 2010年9月17日
研究者
  • 山内 泰
  • 倉橋 光紀
  • 岸本 直樹
技術名称 パルス励起原子線とパルス紫外光の生成方法およびその装置
技術概要 真空中でガスを噴出する絶縁性ノズル2中の電極5とスキマー8との間でパルス放電を生起させ、このパルス放電を、絶縁性ノズル2中の電極5とスキマー8との間に介在させたトリガ電極11へ所定電圧を印加することで安定化させて、パルス励起原子線とパルス紫外光とを同時に生成させる。また、パルス励起原子線とパルス紫外光との生成装置は、先端にガス噴出孔2aが穿設されるとともに内部に針状電極5が配設された絶縁性ノズル2と、絶縁性ノズル2のガス噴出孔2aから所定距離離れた位置に、漏斗状で先端に開口部8aを備えたスキマー8とを具備してなり、開口11aを備えたトリガ電極11が、絶縁性ノズル2のガス噴出孔2aとスキマー8の開口部8aとの間の位置に介在されている。この場合、針状電極5に所定の可変直流電圧の上に固定した所定のパルス電圧を重畳した電圧を印加することによって、針状電極5とスキマー8との間で生じたパルス放電により、準安定He原子からなるパルスHe励起原子線と紫外光とが同時に生成される。これにより、容易かつ確実に安定したパルス放電を実現することができる。
画像

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研究分野
  • 線源,照射装置
  • 気体放電
展開可能なシーズ 機械式チョッパー等の付加装置を必要とすることなく、パルス原子励起線やパルス紫外光を高強度で得ることができる方法とそのための装置とを提供する。
表面科学を対象とする計測や材料の創製等の分野において有用であって、例えば、物質表面や表面内部数層の電子状態を調べるためのプローブとして、または、表面化学反応により、物質表面の汚染物質の除去や表面への積層化合物の創製において好適に使用できるパルス化された励起原子線と紫外光とを高強度で生成させることができる。
用途利用分野 プローブ、表面化学反応、汚染物質、積層化合物、紫外光
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人物質・材料研究機構, . 山内 泰, 倉橋 光紀, 岸本 直樹, . パルス励起原子線とパルス紫外光の生成方法およびその装置. 特開平11-211898. 1999-08-06
  • G21K   5/00     
  • H01J  27/08     
  • H05H   3/02     

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