TOP > 技術シーズ検索 > 電子顕微鏡システム

電子顕微鏡システム

シーズコード S100001435
掲載日 2010年9月17日
研究者
  • 木本 高義
技術名称 電子顕微鏡システム
技術概要 電子顕微鏡像3はX線遮断手段5を通ってマイクロチャネルプレート(電子倍増手段)4に入力される。このマイクロチャネルプレート4では、その両端に順方向の電圧を印加した場合にのみ入力された電子の個数が増幅されながら通過する。従って、パルス電圧印加手段36により、マイクロチャネルプレート4の両端に順方向の短時間幅パルス電圧が印加されると、入力された電子顕微鏡像3はマイクロチャネルプレート4から印加パルス電圧の短時間幅で連続して出力するようになる。そして、マイクロチャネルプレート4から短時間幅で出力した連続した電子顕微鏡像3は、YAG蛍光板7を通り、プリズム8によって分光され、投影レンズ9を通ってCCD撮影機6に入射し、順次撮影される。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_1998-274098.gif
研究分野
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
  • 電荷移送デバイス
展開可能なシーズ 低温及び高温環境下でも、高分解能で試料の観察を行なうことができる電子顕微鏡を提供する。
パルス電圧印加手段によりマイクロチャネルプレートに短時間幅のパルス電圧を印加し、マイクロチャネルプレートに入力された電子顕微鏡像を印加パルス電圧の短時間幅で連続して出力し、この短時間幅での連続電子顕微鏡像をCCD撮影機により順次撮影することにより、低温及び高温環境下でも、高分解能で試料の観察を行なうことができる。
用途利用分野 電子顕微鏡装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人物質・材料研究機構, . 木本 高義, . 電子顕微鏡システム. 特開2000-106120. 2000-04-11
  • H01J 37/22    501
  • H01J 37/244     
  • H01J 37/26      

PAGE TOP