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フラ—レン添加チタン酸ジルコン酸鉛およびその製造方法

シーズコード S100001449
掲載日 2010年9月17日
研究者
  • 宮沢 薫一
  • 伊藤 邦夫
  • 葛巻 徹
  • 関 史江
技術名称 フラ—レン添加チタン酸ジルコン酸鉛およびその製造方法
技術概要 有機溶媒中に、ジルコニウムとチタンのアルコキシドおよび酢酸鉛を安定化剤と共に溶解して得たコロイド溶液(ゾル)に、フラーレンを添加し、ゲル化後、乾燥ついで低温焼成してフラーレン添加チタン酸ジルコン酸鉛を製造する。この方法によって製造したフラーレン添加チタン酸ジルコン酸鉛である。有機溶媒としては、各種アルコールやトルエンが有利に適合する。また、安定化剤としては、ジエタノールアミンが好適である。さらに、焼成する場合の温度としては400~500℃が好適である。なお、本発明において、得られるフラーレン添加チタン酸ジルコン酸鉛の形態は特に限定されることはなく、薄膜は勿論のこと、粉末やバルク体を含むものである。図1はPZTゾルの調製要領を示すフローチャートであり、図2は基板へのコーテングと焼成のプロセスを示すフローチャートである。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス材料
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 強誘電体,反強誘電体,強弾性
展開可能なシーズ ゾル・ゲル法によってチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を製造する場合に、従来よりも低い温度でペロブスカイト相を効果的に生成させることができる、PZTの新規な製造技術を提供する。
ゾル・ゲル法によってPZTを製造する場合に、従来よりも低い温度でペロブスカイト相を効果的に生成させることができ、その結果、従来焼成時に懸念された、基板金属のPZT膜内部への拡散に伴う組成のずれや、大きな熱応力に起因したPZT膜の剥離、さらには基板上に組み込まれた他の素子や電極接合部の特性劣化を効果的に防止することができる。
用途利用分野 マイクロアクチュエータ材料、圧電素子、計算機メモリー、赤外センサー、高誘電率コンデンサー
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東京大学, . 宮沢 薫一, 伊藤 邦夫, 葛巻 徹, 関 史江, . フラ―レン添加チタン酸ジルコン酸鉛およびその製造方法. 特開2000-272964. 2000-10-03
  • C04B  35/49     
  • H01L  41/187    
  • H01L  41/24     

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