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面外分岐ミラーを有する光集積回路の製造方法

シーズコード S100001463
掲載日 2010年9月17日
研究者
  • 杉原 興浩
  • 岡本 尚道
  • 江上 力
  • 中山 英樹
  • 都丸 尚紀
技術名称 面外分岐ミラーを有する光集積回路の製造方法
技術概要 面外分岐ミラー2a,2bを有する光集積回路の製造方法は、基板10上に面外分岐ミラー2a,2bを有する光集積回路を形成するに当たり、基板10上に、光回路素子を構成する高分子光学材料膜11を形成する工程と、高分子光学材料膜11を電子線ビームで直接2次元的に走査する工程と、現像処理により、光回路素子を構成しない区域の高分子光学材料膜11を除去する工程とを具えている。そして、この場合の電子線ビームの走査工程において、光回路素子を構成しない区域に対して時間的に一定のエネルギー照射量で走査し、面外分岐ミラー2a,2bを形成する予定の区域に対しては照射エネルギー量を時間的に変えながら走査する。この電子ビームによる走査は、コンピュータ制御により行うことができる。尚、照射量は、走査速度を時間的に変えることにより、又は走査速度を一定にして照射エネルギー量を時間的に変えることにより行うことができる。
画像

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研究分野
  • 光デバイス一般
  • 光集積回路,集積光学
展開可能なシーズ 比較的簡単な製造工程で面外分岐ミラーを有する光集積回路を正確に形成できる光集積回路の製造方法を提供する。
1回の電子線照射処理により面外分岐ミラーを有する光集積回路を形成することができ、製造工程が一層簡単になる。
用途利用分野 電子線、直接照射
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人静岡大学, . 杉原 興浩, 岡本 尚道, 江上 力, 中山 英樹, 都丸 尚紀, . 面外分岐ミラーを有する光集積回路の製造方法. 特開平11-271549. 1999-10-08
  • G02B   6/122    
  • G02B   6/12     

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