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物理・化学現象検出装置

シーズコード S100001464
掲載日 2010年9月17日
研究者
  • 澤田 和明
  • 安藤 隆男
技術名称 物理・化学現象検出装置
技術概要 温度検出素子において、例えばp型シリコン基板10に、FET(Field Effect Transistor)のソースおよびドレインとなる2カ所のn拡散領域11および12を形成し、そのうち一方の領域12に電界放出微小電子源13を形成する。この場合、2つのn拡散領域間11、12の基板表面には薄いゲート酸化膜14が形成されており、その上には多結晶シリコンまたは金属のゲート電極15が形成されている。ここで、微小電子源13の上部近傍にには、電子引き出し用のゲート電極18が配置される。そして、このゲート電極18には例えば直流電圧+100Vが印加される。この場合、微小電子源13から放出された電子は陽極19に到達し、電流として観測される。そして、陽極19には通常例えば+1000Vが加えられる。ここで、焦電体17に与えられる熱量が変化し、焦電体17に発生する電位が変化した場合、その変化をMOSFETのゲート電極15に伝えることにより、ソースードレイン間を流れる電流が変化し、微小電子源13から放出される電子の量を変化させることができる。
画像

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研究分野
  • 熱電子放出,電界放出
  • 圧電デバイス
展開可能なシーズ 物理・化学現象の変化を、電界放出による電子線の変化として出力可能にし、各種センサとこれと対をなす電界放出素子を例えば2次元的に配置することで、物理・化学現象の2次元の検出信号を並列的に処理し、その分布を直接観察可能にし、加速、偏向などが容易である電子線の特性を生かし、高解像度、高感度で観察に適した画像装置を提供する。
微小電界放出型微小電子源の電位を物理・化学センサなどで制御して微小電子源からの放出電子量を可変できる。物理・化学量を電子線の量に変換して1次元以上に並べられた検出素子を用いて容易に空間分布が観測可能となる。この素子を2次元的に配置し、その検出素子に容量を付加し、信号を一定時間蓄積し、時系列で出力して、高感度な物理・化学現象の撮像素子に応用できる。
用途利用分野 電界放出型微小電子源、電子線量、観察・測定装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人静岡大学, . 澤田 和明, 安藤 隆男, . 物理・化学現象検出装置. 特開2000-111424. 2000-04-21
  • G01L   1/18     
  • G01D   7/00     
  • G01J   1/02     
  • G01J   5/02     
  • G01K   7/00     
  • G01L   5/00     
  • H01J  31/12     
  • H01L  29/84     

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