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弾性ヒンジ装置

シーズコード S100001465
掲載日 2010年9月17日
研究者
  • 大岩 孝彰
技術名称 弾性ヒンジ装置
技術概要 この弾性ヒンジ装置10は、2つの部材を連結し、これらの2つの部材間における互いに直交する3つの軸のそれぞれの軸方向に沿う並進移動を阻止しかつ3つの軸のそれぞれの軸を中心とする回転方向の移動を可能とする。この場合、2つの部材の一方に固定されるベース12と、このベースに、その両側から外方に向けて同軸状に延びる一対の第1トーションバー14を介して連結された第1中間フレーム16と、この第1中間フレームに、その両側から外方に向けて同軸状に延びる一対の第2トーションバー18を介して連結された第2中間フレーム20が配置される。更に、この第2中間フレームに、その両側から外方に向けて同軸状に延びる一対の第3トーションバー22を介して連結された回転部材24と、この回転部材から、第1,第2,第3トーションバーのそれぞれに対して斜め方向に延設され、2つの部材の他方に結合されるレバーとを備え、これらの第1,第2,第3トーションバーは、それぞれの軸線を互いに直交させて配置される。この弾性ヒンジ装置は、このレバーの中心軸と各トーションバーの中心軸とが、回転部材内の同一の点を通るのが好ましい。
画像

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研究分野
  • 機械要素
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
展開可能なシーズ 半導体製造装置あるいは走査型プローブ顕微鏡等のサブミクロン以下の高精度で位置決めあるいは再現性を必要とする用途において、2つの部材間の移動量が多くなっても極めて正確に位置決めすることのできる弾性ヒンジ装置を提供する。
摩擦の影響がないためスティックスリップなどがなく、高精度な運動を行うことができると共に、回転中心の移動がないため高い回転精度を維持しつつ、機械的にも高い強度と大きな回転角度範囲を形成することができる。
用途利用分野 弾性ヒンジ装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人静岡大学, . 大岩 孝彰, . 弾性ヒンジ装置. 特開2000-220629. 2000-08-08
  • F16C  11/04     
  • F16H  35/08     

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